一、設(shè)計的指導(dǎo)思想
在電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計中，做到技術(shù)先進、經(jīng)濟適用、安全可靠、節(jié)約資源、降低能耗、確保質(zhì)量、符合勞動衛(wèi)生和環(huán)境保護要求，滿足防火及疏散的要求，并根據(jù)實際情況為生產(chǎn)發(fā)展及工藝改進的需要預(yù)留條件，主要歸納為下面幾點：
1)滿足工藝改造和擴大規(guī)模的需要，實現(xiàn)在建筑面積不增加、建筑高度不改變的情況下，進行生產(chǎn)工藝和生產(chǎn)設(shè)備的調(diào)整。2)廠房的主體結(jié)構(gòu)宜采用大空間、大跨度的柱網(wǎng)，以便適應(yīng)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝調(diào)整，生產(chǎn)規(guī)模的擴大或產(chǎn)品的升級換代等需要。3)廠房內(nèi)不應(yīng)采用內(nèi)墻承重體系，避免因承重內(nèi)墻的固定不變，妨礙生產(chǎn)工藝或設(shè)備的調(diào)整。4)安全出口應(yīng)合理分散布置，并應(yīng)設(shè)有明顯的疏散標(biāo)志，以利于人員的安全疏散。5)應(yīng)加強消防技術(shù)措施，完善各種危險出現(xiàn)的探測報警及撲救設(shè)施。
二、技術(shù)方案
1)主要建筑空間應(yīng)設(shè)有技術(shù)夾層、技術(shù)夾道及相應(yīng)輔助用房。2)主體結(jié)構(gòu)形式、構(gòu)造、材質(zhì)均應(yīng)符合安全、可靠、耐火的要求。3)消防措施設(shè)計有室內(nèi)外消防栓、自動噴水滅火系統(tǒng)、滅火器、火災(zāi)報警系統(tǒng)，關(guān)鍵設(shè)備自帶火災(zāi)報警系統(tǒng)和滅火裝置，以及回風(fēng)氣流中設(shè)有靈敏度嚴(yán)于0.01%obs/m的高靈敏度早期火災(zāi)報警探測系統(tǒng)、應(yīng)急照明及疏散指示等。4)主要生產(chǎn)車間或人員密集車間應(yīng)布置于場地平緩、視線開闊、消防通道便捷、易于消防撲救的場所。
三、電子潔凈廠房共性
電子工業(yè)潔凈廠房具有以下主要特點：
1)在電子產(chǎn)品如電子材料、半導(dǎo)體器件、集成電路、液晶顯示器件等生產(chǎn)過程中，需要使用易燃易爆的氣體、化學(xué)品等，它們對潔凈廠房構(gòu)成潛在的火災(zāi)威脅。2)一些電子工業(yè)潔凈廠房的面積大、體積大，并且常常是平面布置、空間布置曲折，增加了疏散路線上的障礙，可能延長安全疏散的時間。3)潔凈廠房內(nèi)電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程需要應(yīng)用各種類型的精密、貴重的設(shè)備、儀器，建設(shè)投資巨大，一旦失火，將造成極大的損失。
鑒于電子工業(yè)潔凈廠房相比普通工業(yè)廠房有較為突出的特點，國家建設(shè)部專門針對此類建筑制定專用規(guī)范，即《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》。
四、防火及疏散
隨著電子工業(yè)技術(shù)的發(fā)展，如今電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的連續(xù)性或生產(chǎn)過程的自動化傳輸設(shè)備的需要，電子潔凈廠房的潔凈室確實不能按防火分區(qū)要求進行分隔。
我國建設(shè)了一-批大規(guī)模集成電路芯片生產(chǎn)用潔凈廠房、TFT-LCD生產(chǎn)用潔凈廠房，它們的潔凈室面積和防火分區(qū)均大大超過現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》、《建筑設(shè)計防火規(guī)范》規(guī)定的面積。
此類廠房由于生產(chǎn)工藝設(shè)備體積大、連續(xù)性生產(chǎn)、自動化傳輸?shù)纫蛩?/span>，致使要實現(xiàn)廠房任一點到安全出口的距離符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》的規(guī)定十分困難。
鑒于上述情況，《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》規(guī)定：丙類生產(chǎn)的電子工業(yè)潔凈廠房的潔凈區(qū)，在關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備設(shè)有火災(zāi)報警和滅火裝置，回風(fēng)氣流中設(shè)有靈敏度嚴(yán)于0.01%o bs/m的高靈敏度早期火災(zāi)報警探測系統(tǒng)后，其每個防火分區(qū)的最大允許建筑面積可按生產(chǎn)工藝要求確定，安全疏散距離可放寬至《建筑設(shè)計防火規(guī)范》規(guī)定的1.5倍。至于更特殊的，如TFT-LCD生產(chǎn)工藝達到8代生產(chǎn)線，在生產(chǎn)人員滿足密度小于0.02人/m2時，疏散距離在不超過120 m情況下可按工藝要求確定。
由于電子工業(yè)潔凈廠房空間密閉，且設(shè)有人員凈化、物料凈化設(shè)施，一旦出現(xiàn)火情，?消防人員進入潔凈室的路徑較為困難，為此《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》規(guī)定潔凈區(qū)各層外墻應(yīng)設(shè)有供消防人員通往潔凈區(qū)的入口。
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