用于生產(chǎn)精密電子產(chǎn)品的受控環(huán)境就是電子工業(yè)潔凈室。該類潔凈室內(nèi)的污染物在空氣中的微粒、溫度、濕度、氣壓、氣流模式、空氣運(yùn)動(dòng)、振動(dòng)、噪音、生物體和照明方面受到高度控制。

對(duì)于敏感的先進(jìn)電子產(chǎn)品，現(xiàn)代OEM不能冒任何微粒污染的風(fēng)險(xiǎn)——微芯片上的微小灰塵可能與巨石一樣具有破壞性。受污染的產(chǎn)品每年給電子制造商造成數(shù)百萬美元的損失，可能導(dǎo)致失去最重要的ISO體系認(rèn)證，并產(chǎn)生難以撼動(dòng)的負(fù)面宣傳。

因此需要建立電子潔凈室，以防止高精度的電子產(chǎn)品損壞。同時(shí)，電子制造商必須確保其制造空間的清潔，以保持其產(chǎn)品的完整性。除了控制空氣中顆粒的數(shù)量和大小以防止不可修復(fù)的破壞外，電子潔凈室系統(tǒng)還可以滿足對(duì)防靜電要求。此外，電子處理和存儲(chǔ)需要潔凈室。

根據(jù)不同的應(yīng)用，電子潔凈室將滿足特定的潔凈度要求。電子潔凈室必須符合兩個(gè)標(biāo)準(zhǔn)：

FED STD 209E：該標(biāo)準(zhǔn)根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)單位(空氣體積單位為ft3)定義空氣中懸浮顆粒物的濃度。FS209E包含六個(gè)等級(jí):1級(jí)、10級(jí)、100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)、100000級(jí)，其中1級(jí)為“最干凈”，100000級(jí)為“最臟”。

ISO 14644-1：該標(biāo)準(zhǔn)根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)單位(空氣體積單位為m3)定義了空氣中懸浮顆粒的濃度。ISO 14644-1有九個(gè)等級(jí)，ISO 1是“最干凈”的，ISO 9是“最臟”的。

這兩個(gè)標(biāo)準(zhǔn)都根據(jù)潔凈室空氣中發(fā)現(xiàn)的顆粒數(shù)量對(duì)潔凈室進(jìn)行分類，可以互換使用。例如，ISO class 3大約等于FS209E class 1，而ISO class 8大約等于 FS209E class 100，000。需要去除的顆粒物水平取決于客戶設(shè)定的標(biāo)準(zhǔn)。

除了粒度和濃度標(biāo)準(zhǔn)，還有一些標(biāo)準(zhǔn)需要考慮：

• 溫度標(biāo)準(zhǔn)：22℃是電子電路的安全溫度

• 濕度標(biāo)準(zhǔn)：18-55%是理想的濕度范圍

• 差壓標(biāo)準(zhǔn)：壓差從15Pa到45Pa

電子工業(yè)對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量和工藝可靠性的要求越來越高，需要在制造、處理和加工以及儲(chǔ)存過程中保持清潔的環(huán)境，因此潔凈室技術(shù)在光學(xué)和電子行業(yè)中發(fā)揮著越來越重要的作用。電子工業(yè)需要潔凈室的細(xì)分領(lǐng)域包括：

• 半導(dǎo)體制造

• 板材制造

• 光纖生產(chǎn)

• 晶圓運(yùn)輸

• 真空室

• 干燥劑

• 無ESD晶圓和芯片存儲(chǔ)

• 紫外線敏感過程

• EUV研究

• 真空鍍膜

• 印刷

• 面罩矯正器

• 硅片和基板的封裝

在電子潔凈室，需要設(shè)計(jì)和配置各種建筑材料，以滿足精確的規(guī)格。這些電子潔凈室可防止對(duì)電子產(chǎn)品產(chǎn)生危害污染物，如化學(xué)蒸氣、氣溶膠顆粒、纖維材料和微生物。電子潔凈室需要HEPA過濾、正壓或負(fù)壓、溫度控制和監(jiān)控系統(tǒng)。

建造和設(shè)計(jì)電子潔凈室，從FS209E 100級(jí)到 100,000級(jí)，相當(dāng)于 ISO 14644 5 到 8 級(jí)。對(duì)于 300,000 級(jí)潔凈室，可以使用亞 HEPA 過濾器。對(duì)于 100-100,000 級(jí)，建議安裝初級(jí)、二級(jí)和高效 HEPA 過濾器系統(tǒng)。二級(jí)過濾器和高效過濾器的風(fēng)量應(yīng)小于或等于潔凈室規(guī)定的風(fēng)量。二級(jí)過濾器應(yīng)集中在空氣處理系統(tǒng)的正壓部分周圍，而高效過濾器應(yīng)集中在空氣處理系統(tǒng)的末端周圍。

微電子潔凈室構(gòu)造?圖源：cleanroom-industries

一些電子潔凈室需要高性能塑料（如聚丙烯）生產(chǎn)線中的輔助產(chǎn)品。這些塑料耐酸、耐溶劑和耐大多數(shù)其他化學(xué)品，具備低磨損和良好的滑動(dòng)性，還具有阻燃性。因此，它們特別適用于制造潔凈室產(chǎn)品中的搬運(yùn)部件。以下是用到聚丙烯塑料的功能區(qū)：

• 定容化學(xué)排煙罩

• 旁路排煙罩

• 垂直流排氣100級(jí)工作站

• 濕法加工站

• 帶工藝罐的排煙罩

• 熱水浴

• 傾倒沖洗器

模塊化結(jié)構(gòu)全墻系統(tǒng)

天花板

門窗系統(tǒng)：?圖源：octanorm-cleanroom

防靜電環(huán)氧樹脂地板結(jié)構(gòu)?圖源：tennantcoatings

靜電會(huì)損壞產(chǎn)品，形成安全隱患，并引起顆粒的吸附，這些顆粒隨后會(huì)釋放到加工產(chǎn)品中。ESD幾乎在電子環(huán)境的各個(gè)方面都會(huì)影響生產(chǎn)力和產(chǎn)品可靠性。

包括半導(dǎo)體制造商、納米技術(shù)公司和其他電子制造公司的客戶，其潔凈室用品和服裝制造商提供用于控制有害顆粒的創(chuàng)新產(chǎn)品，如備有全套防靜電濕巾、ESD服裝、特種化學(xué)品和清潔用品，以及潔凈室顧問服務(wù)，幫您了解關(guān)鍵環(huán)境對(duì)無靜電、無塵設(shè)施的需求，以及對(duì)您的員工采取的安全預(yù)防措施：

• 防靜電工作服和實(shí)驗(yàn)室外套

• 防靜電濕巾

• 防靜電清潔產(chǎn)品

• ESD 和防靜電手指套

• 防靜電無粉丁腈手套

• 防靜電和ESD鞋套

• 焊接用品和產(chǎn)品

• 模板濕巾和相關(guān)物品

• 防靜電地板和長凳墊

• 眼睛保護(hù)和護(hù)目鏡

• 鑷子和其他潔凈室手動(dòng)工具

潔凈室制造商會(huì)為您設(shè)計(jì)一個(gè)全面完整安全的電子潔凈室，具有您需要的所有認(rèn)證功能：

• 防靜電周邊窗簾

• 風(fēng)淋室

• 實(shí)驗(yàn)室案例

• 單向100級(jí)工作站

• 風(fēng)機(jī)過濾單元

• 濕法站

• 負(fù)流排氣工作站

• 鞋柜
  

• 服裝柜

• 隔板

• 流程實(shí)用程序

• 氣柜

• 氣體面板

• 高純度管道

• 空氣污染控制系統(tǒng)

• 氮?dú)獍l(fā)生器

• 去離子水系統(tǒng)

• 有害氣體檢測系統(tǒng)

• 電離設(shè)備

• 抗靜電潔凈室用品

• 防靜電產(chǎn)品

• 暖通空調(diào)系統(tǒng)

• HEPA過濾系統(tǒng)

• 其他污染控制產(chǎn)品

圖源：cleanroomsbyunited

模塊化電子組裝潔凈室比標(biāo)準(zhǔn)結(jié)構(gòu)更便宜，更易于安裝，并且可以最少的費(fèi)用和停機(jī)時(shí)間進(jìn)行修改、升級(jí)甚至重新安置，并且?guī)缀?00%可重復(fù)使用。使用隔熱墻板提供隔熱層，可提高性能和效率，同時(shí)降低能源成本。

電子裝配潔凈室的要求可能會(huì)因安裝而異，因此，考慮到這一點(diǎn)，您可以根據(jù)自身的規(guī)格設(shè)計(jì)定制潔凈室。?模塊化電子潔凈室可提供：

• HEPA過濾

• 正/負(fù)氣壓

• 溫度控制

• 監(jiān)控系統(tǒng)

• 更多選項(xiàng)