一、無(wú)塵車(chē)間靜電的危害
1、靜電庫(kù)侖力
在靜電庫(kù)侖力的作用下，吸附的粉塵、污物造成元器件增大泄漏或形成短路，使性能受損，成品率和可靠性大大下降。如粉塵粒徑>100μm，鋁線寬度約100μm，氧化膜厚度在50μm時(shí)，最易使產(chǎn)品報(bào)廢。現(xiàn)在線徑更細(xì)，氧化膜很薄，粒徑很小的塵粒子就會(huì)損害元器件，這種情形多發(fā)生在腐蝕清洗、光刻、點(diǎn)焊和封裝等工藝過(guò)程中。
2、靜電放電
(1)元器件的絕緣氧化膜被擊穿，引線被燒斷或線間熔斷。若人體帶上10KV(100PF)的靜電荷，觸摸器件腳時(shí)發(fā)生ESD，其向大地瞬間形成脈沖放電電流峰值可達(dá)20A(10~100s)，不要說(shuō)高密度，細(xì)線徑，薄SiO2膜的Lsi、Vlsi，就是一般IC、MOS都會(huì)遭受損壞。
一般說(shuō)器件絕緣柵SiO2薄膜的耐壓場(chǎng)強(qiáng)是E=(5-10)×106V/cm，如果器件SiO2膜厚度取1000，其器件輸入腳施加50V-100V以上的靜電壓就將會(huì)被擊穿，而人體帶靜電超過(guò)50V、100V是極平常的。
(2)造成噪聲、發(fā)射電磁波干擾!
ESD引起EMI其電磁波的前后峰較尖，信號(hào)強(qiáng)，相當(dāng)于電路中幾伏的能量，頻率跨越幾MH2甚幾百MH2的強(qiáng)大噪聲，可能引起元器件損壞，設(shè)備和傳感器不正常工作，甚至引起設(shè)備死機(jī)。
ESD引起的EMI還會(huì)引發(fā)錯(cuò)誤信號(hào)的輸入，或發(fā)生鎖存現(xiàn)象。如無(wú)塵室中，將晶圓片的EMIF箱放在鋼的手推車(chē)上，晶圓片的ESD會(huì)通過(guò)電感傳給手推車(chē)，車(chē)輪是絕緣的，則EMI的擴(kuò)散會(huì)引起晶圓片處理機(jī)死機(jī)。
(3)電擊人體
人體的ESD或?qū)θ梭w的ESD當(dāng)超過(guò)人體電擊極限電流5mA以上時(shí)，人都會(huì)有各種傷害感覺(jué)，造成工作人員的情緒不安，操作錯(cuò)誤。賽特凈化可提供電子廠潔凈室的咨詢、規(guī)劃、設(shè)計(jì)、施工、安裝、改造等配套服務(wù)。
無(wú)塵車(chē)間的半導(dǎo)體，平面顯示器，光電子等無(wú)塵車(chē)間，盡管做了很多工作，但無(wú)塵車(chē)間的靜電問(wèn)題仍然影響著生產(chǎn)安全和產(chǎn)品產(chǎn)量，影響著制造成本和效益，影響產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性。據(jù)國(guó)外工業(yè)專家估計(jì)，美國(guó)每年由于靜電造成產(chǎn)品的損失平均在8-33%，還有人估計(jì)美國(guó)每年靜電對(duì)電子工業(yè)毀損價(jià)值達(dá)100億美元;日本80年代曾對(duì)報(bào)廢的電子產(chǎn)品進(jìn)行分析，由ESD引起的損失占1/3。我國(guó)半導(dǎo)體、平面液晶顯示、光電子等都起步較晚，但靜電危害也時(shí)有發(fā)生，成品率較低。而銀行、證券公司、機(jī)要數(shù)據(jù)庫(kù)、監(jiān)控中心，電力調(diào)度室等等，若出現(xiàn)ESD就很容易引起干擾，數(shù)據(jù)遺失，情形就更嚴(yán)重了。
二、無(wú)塵車(chē)間靜電控制
1、靜電控制的基本原則
(1) 確定靜電控制級(jí)別
(2)盡量減少靜電荷的產(chǎn)生
(3) 泄放和中和的辦法加速靜電荷消散，防止靜電積累
(4)保護(hù)產(chǎn)品不受ESD的損壞
2、確定靜電控制的級(jí)別
(1)元器件、組件和設(shè)備靜電敏感度分級(jí)
1級(jí)：易遭受0-1999V靜電電壓損壞的
2級(jí)：易遭受2000-3999V靜電電壓損壞的
3級(jí)：易遭受4000-5999V靜電電壓損壞的
而敏感靜電壓大于16000V的，便不必采取防靜電措施。
(2)靜電防護(hù)工作區(qū)的分級(jí)
A級(jí)：允許對(duì)地靜電電位不超過(guò)±100V
B級(jí)：允許對(duì)地靜電電位不超過(guò)±1000V
實(shí)際工程中是分靜電電位不超過(guò)100V、500V、1000V等對(duì)應(yīng)元器件、組件和設(shè)備靜電敏感電壓的3級(jí)。
3、盡量減小靜電荷的產(chǎn)生
這是控制靜電三步曲的第一步，在這無(wú)塵工作環(huán)境中，最好的措施：
(1)盡量采用性質(zhì)相似器材，減少在接觸摩擦分離過(guò)程中產(chǎn)生靜電電荷;
(2)盡量采用導(dǎo)靜電型或靜電耗散型材料的器材，減少接觸摩擦分離過(guò)程產(chǎn)生積累靜電荷;
(3)盡量采用減少接觸摩擦分離而產(chǎn)生靜電荷的生產(chǎn)流程。