一、全新風(fēng)的凈化空調(diào)送風(fēng)方案
全新風(fēng)凈化空調(diào)送風(fēng)方案用于特殊的、不允許回風(fēng)的潔凈室的送風(fēng)方案中。
二、一次回風(fēng)的凈化空調(diào)送風(fēng)方案
一次回風(fēng)的送風(fēng)方案多用在潔凈室內(nèi)的發(fā)熱量或產(chǎn)濕量很大，消除室內(nèi)余熱或余濕的送風(fēng)大于、等于或近于凈化送風(fēng)量的低潔凈度等級的非單向流潔凈室中。
三、一、二次回風(fēng)的凈化空調(diào)送風(fēng)方案
為了節(jié)能、消除空氣熱濕處理過程中的冷熱相互抵消現(xiàn)象，在潔凈室凈化送風(fēng)量大于其消除余熱、余濕的空調(diào)送風(fēng)量時，盡量采用一、二次回風(fēng)方案，將二次混合點設(shè)計在系統(tǒng)送風(fēng)點上，該訪案是比較節(jié)能、經(jīng)濟(jì)的送風(fēng)方案。
四、新風(fēng)機(jī)組(MAU)+循環(huán)機(jī)組(RAU)的凈化空調(diào)送風(fēng)方案
此方案多于多個潔凈室，其潔凈度、溫濕度要求不同，室內(nèi)的產(chǎn)熱量和產(chǎn)濕也不相近，為了確保每個潔凈室的潔凈度、溫濕度及其精度的要求，就要設(shè)置多個循環(huán)機(jī)組，循環(huán)機(jī)組的送風(fēng)量是凈化送風(fēng)量，并且在機(jī)組內(nèi)設(shè)置必要的熱、濕處理設(shè)備，用來補(bǔ)充新風(fēng)機(jī)組熱、濕處理的不足和保證該潔凈室溫、濕度精度的微調(diào)節(jié)。由于循環(huán)機(jī)組設(shè)在潔凈室的頂棚內(nèi)，循環(huán)機(jī)組的送風(fēng)余壓相對都較小，機(jī)組體積和機(jī)組噪聲、振動也較小，送回風(fēng)管也比較短小，但是要注意循環(huán)機(jī)組的凝結(jié)水排放問題，這種方案的問題往往都出在凝結(jié)水排放的處理上；此方案的新風(fēng)機(jī)組設(shè)在空調(diào)機(jī)房內(nèi)，這些潔凈室所需的新風(fēng)全部由新風(fēng)機(jī)組(MAU)進(jìn)行凈化和熱濕的集中處理，然后分配到每一個循環(huán)機(jī)組內(nèi)與其回風(fēng)混合。新風(fēng)機(jī)組的新風(fēng)量不僅僅要補(bǔ)充各潔凈室的排風(fēng)，還要保證每個潔凈室的正壓，新風(fēng)機(jī)組的熱濕處理盡量到某潔凈室空氣的機(jī)械露點上。如果新風(fēng)熱濕處理點低于潔凈室的機(jī)械露點，新風(fēng)不僅承擔(dān)新風(fēng)本身的濕負(fù)荷，而且還將潔凈室的濕負(fù)荷也消除掉，此時循環(huán)機(jī)組內(nèi)的表冷器可為干式表冷器。
五、空調(diào)機(jī)組(AHU) +風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組(FFU)的凈化空調(diào)送風(fēng)方案
此方案中凈化空調(diào)系統(tǒng)的全部熱、負(fù)荷(潔凈室內(nèi)產(chǎn)生的熱、負(fù)荷及新風(fēng)的熱、負(fù)荷)全部由設(shè)在空調(diào)機(jī)房內(nèi)的空調(diào)機(jī)組來負(fù)擔(dān)。此時空調(diào)機(jī)組的送風(fēng)量是消除本系統(tǒng)余熱、余濕的空調(diào)送風(fēng)量(其中包括全部新風(fēng)和部分回風(fēng)，但遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于保證潔凈室潔凈度等級的凈化送風(fēng)量)，它應(yīng)能確保潔凈室內(nèi)的溫度和相對濕度的恒定。而該潔凈室的潔凈度由設(shè)在潔凈室頂棚上的風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組(FFU)將凈化送風(fēng)量就地循環(huán)過濾來保證。此方案中應(yīng)該注意的是，FFU運行過程中所產(chǎn)生的熱量也應(yīng)由空調(diào)機(jī)組來承擔(dān)。此方案更適合用于在大面積非單向流潔凈室內(nèi)有局部的垂直單向流的混合流潔凈室中。
六、新風(fēng)機(jī)組(MAU)+循環(huán)機(jī)組(RAU) +風(fēng)機(jī)過濾器單元(FFU)凈化空調(diào)送風(fēng)方案當(dāng)多個潔凈室中有若干個1級、10級、100級等高凈化級別的垂直單向流潔凈室時，為了減少循環(huán)機(jī)組(RAU)的負(fù)擔(dān)和送、回風(fēng)管道的斷面，此時循環(huán)機(jī)組僅解決該單向流潔凈室的空調(diào)送風(fēng)量，以保證潔凈室的溫度、相對濕度和潔凈室的正壓，而90%以上的絕大部分送風(fēng)量由設(shè)在潔凈室頂棚上的FFU來負(fù)擔(dān)，以保證潔凈室的高潔凈度級別。
七、新風(fēng)機(jī)組(MAU)+風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組(FFU)+干冷盤管(DC)的凈化空調(diào)送風(fēng)方案此方案是新風(fēng)機(jī)組將新風(fēng)處理到潔凈室熱濕比線與95%相對濕度線交點以下，新風(fēng)機(jī)組不僅將本身的濕負(fù)荷去掉，而且還負(fù)擔(dān)潔凈室內(nèi)產(chǎn)生的濕負(fù)荷，新風(fēng)機(jī)組要確保潔凈室所需要的相對濕度。而新風(fēng)機(jī)組熱處理不足的部分干冷負(fù)荷由設(shè)在潔凈室頂棚上(或夾道內(nèi))的干表冷器來補(bǔ)充。因干表冷器是設(shè)在FFU循環(huán)空氣通過的頂棚上或夾道內(nèi)，因此干表冷所彌補(bǔ)的干冷負(fù)荷被循環(huán)空氣帶到潔凈室內(nèi)。由新風(fēng)機(jī)組處理過的新風(fēng)用管道以能與FFU循環(huán)空氣均勻混合的方式送到潔凈室的送風(fēng)靜壓箱內(nèi)，FFU布置在潔凈室的頂棚上，與新風(fēng)混合的循環(huán)風(fēng)經(jīng)FFU被高效過濾器過濾后送到潔凈室內(nèi)，以保證潔凈室的潔凈度。FFU 的規(guī)格以1200mm×600mm和1200mm×1200mm居多，其斷面風(fēng)速應(yīng)為≥0.45m/s，余壓應(yīng)≥120Pa，噪聲應(yīng)≤50dB (A)為好。FFU的風(fēng)機(jī)風(fēng)量應(yīng)可調(diào)，高效過濾器應(yīng)可更換，干冷盤管一般由雙排組成，為了減小阻力，鋁翅片間距應(yīng)≥3mm，阻力損失應(yīng)為30~40Pa，循環(huán)風(fēng)通過干盤管的面風(fēng)速應(yīng)<2m/s，盡量為1.5m/s。進(jìn)入干盤管冷水的進(jìn)水溫度應(yīng)高于潔凈室露點溫度2℃，通常稱為中溫冷水，雖然叫干盤管，但在起始運行時還可能有凝結(jié)水產(chǎn)生，因此干盤管還應(yīng)有凝結(jié)水滴水盤和排水措施。此方案中潔凈室的相對濕度由新風(fēng)機(jī)組(MAU)來保證，潔凈室的溫度由干冷盤管來保證，潔凈室的潔凈度由FFU來保證。這種MAU加FFU加DC的凈化空調(diào)送風(fēng)方案，目前在我國和外國的微電子(集成電路)工業(yè)、光電子(TFT—LCD、LCD、LED等)工業(yè)等大面積、高潔凈度等級的潔凈廠房中得以廣泛應(yīng)用，它具有調(diào)節(jié)方便，節(jié)能顯著，適應(yīng)工藝的更新?lián)Q代，大大地節(jié)省了非生產(chǎn)面積和非生產(chǎn)空間的優(yōu)點。且，隨著潔凈技術(shù)和潔凈設(shè)備的不斷發(fā)展和進(jìn)步，FFU風(fēng)機(jī)的效率不斷提高，耗電不斷降低，整體價格不斷下降，其初投資也與其他類型的送風(fēng)方案基本持平，但運行費用大大節(jié)省。
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