一、潔凈室主體結(jié)構(gòu)施工
主體結(jié)構(gòu)混凝土施工質(zhì)量對潔凈度控制有極大的影響。高潔凈度廠房在混凝土裂縫控制、耐久性、外觀質(zhì)量等方面較普通廠房建筑有更高的要求。在裂縫的控制上較一般工程更為嚴(yán)格，要求達(dá)到無肉眼可見裂縫，杜絕貫穿裂縫等有害裂縫的存在。工程所采用混凝土，按普通混凝土高性能化的技術(shù)路線，進(jìn)行原材料優(yōu)化選擇、配合比優(yōu)化設(shè)計(jì)和施工過程的有效控制，確保了混凝土的高質(zhì)最要求。
出于高潔凈度需要和工藝、設(shè)備管線布置的要求，潔凈室采用承載能力大、空間布置靈活的密孔樓板，這種樓板能很好地滿足芯片生產(chǎn)設(shè)備的管線安裝布置及潔凈度要求。
密孔樓板施工采用圓孔華夫模板，二層華夫板面需直接做超潔凈環(huán)氧地坪，對板面混凝土密實(shí)度和表面強(qiáng)度要求嚴(yán)格，板面平整度偏差在3mm內(nèi)不大于±3mm，表面原漿壓光，一次成型。
二、潔凈室裝飾裝修施工
潔凈室的建筑裝飾施工應(yīng)在廠房屋面防水工程和外圍護(hù)結(jié)構(gòu)完成、外門及外窗安裝完畢后進(jìn)行。潔凈室可采用金屬墻板裝配式結(jié)構(gòu)，也可采用砌筑墻或現(xiàn)澆混凝土墻抹灰等形式。
潔凈室建筑裝飾施工應(yīng)采用不起塵、不開裂的材料，在施工過程中須特別注意各種接縫的處理，防止開裂、起塵，并在接縫處采用密封膠填塞，接縫處的縫隙不應(yīng)大于0.5mm。建筑裝飾及門窗的縫隙應(yīng)在潔凈室的正壓面密封。
（1）環(huán)氧樹脂自流平地坪施工
為保證高潔凈度，墻面、部分地面采用環(huán)氧涂料。環(huán)氧樹脂自流平地坪施工流程：原地面地處理(對所施工地板進(jìn)行全面打磨、修補(bǔ)、除塵)→底涂層處理(將底涂材料用滾筒滾涂或鏝刀刮涂)→鋪設(shè)石英砂漿層→中涂層處理(待砂漿層固化，打磨、除塵后用鏝刀刮涂調(diào)配好的中層材料)→面涂層處理(對中涂層打磨、吸塵，再將面涂材料鏝涂于中涂層之上，使之自平流展）
（2）內(nèi)墻環(huán)氧乳膠漆施工
內(nèi)墻環(huán)氧乳膠漆施工在室內(nèi)門窗、燈具安裝完畢后進(jìn)行。先做頂棚，再做墻面，最后做分色線。
施工流程：基層處理→刷底膠(木質(zhì)及油漆面除外)→木質(zhì)基層封閉→局部補(bǔ)膩?zhàn)印鷿M刮膩?zhàn)印⒌讓油苛稀⒚嫱苛稀嵑捅Ｗo(hù)。
室內(nèi)裝飾施工往往會有其他工種的交叉作業(yè)，應(yīng)注意涂料工程的成品保護(hù)：已施工墻面如受到污染，可用干凈的濕抹布輕輕擦洗，污染嚴(yán)重時應(yīng)重新涂刷；如不慎沾上油漆，應(yīng)在油漆干燥前，用稀釋劑將其擦去；涂層干后，在交工前不得長時間浸水，以免發(fā)生質(zhì)量事故；涂刷工具用畢應(yīng)及時清洗干凈并安善保管。柱、墻、梁陽角均抹圓處理以防碰壞落灰或積灰，踢腳不超出墻、柱平面，防止積灰。
（3）高架地板施工工藝
①放樣
根據(jù)施工圖，用經(jīng)緯儀在現(xiàn)場放出X，Y軸線，用鐳射儀放出水平基準(zhǔn)線。每個區(qū)域中部放一基準(zhǔn)軸線和水平基準(zhǔn)線，并放出輔助軸線和水平標(biāo)高線。
②基準(zhǔn)排鋪設(shè)
沿X，Y軸基準(zhǔn)線，各鋪設(shè)6排地板，調(diào)整使其與軸線對齊，與標(biāo)高相平，以該6排作為基準(zhǔn)排。
③大面鋪設(shè)、調(diào)平
沿基準(zhǔn)排逐排鋪設(shè)大面地板，將腳架擺放于相應(yīng)位置，一般區(qū)腳架為φ48管，加強(qiáng)區(qū)腳架為φ60管。利用鐳射儀調(diào)整上基座至接近地板下之高度位置(粗平)。腳架調(diào)平后開始抹膠，膠應(yīng)均勻地涂抹于底盤上。為保證抹膠均勻，抹膠工作由專業(yè)技術(shù)人員負(fù)責(zé)進(jìn)行。
將抹好膠的腳架置于地面，同時擺放縱橫向的橫梁，一般區(qū)為25 mm×25 mm×558 mm的門形橫梁，加強(qiáng)區(qū)為25 mm×25 mm×558 mm方形橫梁且中間加一支25mm×25 mm×776 mm的加強(qiáng)斜梁。鎖橫梁螺絲，橫梁螺絲的規(guī)格為12M6的十字沉頭螺絲。
敲導(dǎo)電墊片并鋪地板。利用鐳射儀調(diào)整上基座，使地板表面高度與水平標(biāo)高線相平(精平)。在大面施作時，每50排需用經(jīng)緯儀檢驗(yàn)X，Y軸之垂直適合位移，隨時進(jìn)行調(diào)整修正，最后應(yīng)進(jìn)行收邊處理。
三、高潔凈度芯片廠空調(diào)及管道系統(tǒng)安裝關(guān)鍵技術(shù)
凈化空調(diào)及管道系統(tǒng)的施工安裝是高潔凈廠房施工的最重要組成部分，必須按高潔凈廠房的整體施工要求、進(jìn)度安排和潔凈室特有的施工程序進(jìn)行組織。
（1）風(fēng)管施工安裝
采用自動剪板機(jī)進(jìn)行風(fēng)管下料，根據(jù)不同管徑確定其施工順序如下：
①管徑2000 mm以下風(fēng)管：工廠加工(半成品)→運(yùn)至預(yù)制廠組裝成成品→運(yùn)至現(xiàn)場清潔→吊裝→漏光試驗(yàn)→保溫；
②管徑2000 mm以上風(fēng)管：工廠加工(半成品)→運(yùn)至預(yù)制廠組裝加固→清潔→吊裝→漏光試驗(yàn)→保溫。
（2）管道安裝
①支吊架預(yù)制及安裝
根據(jù)施工圖及現(xiàn)場情況，繪制完整的支吊架制作大樣圖。支吊架安裝按《通風(fēng)與空調(diào)施工質(zhì)量驗(yàn)收規(guī)范》執(zhí)行。潔凈室區(qū)域采用鍍鋅型材。鍍鋅型材焊接完成后，在焊縫處嘖涂一遍鍍鉻噴漆。支吊架的預(yù)制遵循“先主后次，先主管、后支管，先大管，后小管”的施工程序。
②管道吊裝
用起重機(jī)將每一樓層所需管子吊到該層。考慮安裝過程中的安全性，針對大口徑管道，吊裝選用手拉葫蘆和卷揚(yáng)機(jī)相結(jié)合的方式。在管道系統(tǒng)端部搭投一個臨時吊裝架，先用單軌吊車或卷揚(yáng)機(jī)將管子提到吊裝架上(如條件允許，可用起重機(jī)直接將管子吊至吊裝架上)，然后用卷揚(yáng)機(jī)在另一端水平牽引，將管子拉上支架固定。其他樓層則根據(jù)現(xiàn)場情況選用合適的吊裝方式。
③管道安裝
工程中所用管材中鍍鋅鋼管居多，其次是不銹鋼管，再次是U-PVC管。鍍鋅鋼管直徑大于50 mm以上者采用焊接，直徑不大于50mm時采用螺紋連接；不銹鋼管全部采用氬弧焊；PVC管采用膠水粘接。管道安裝完成后進(jìn)行氣壓及水壓試驗(yàn)。承壓管道的試驗(yàn)壓力按工作壓力1.5倍計(jì)，冷凝水管做通水試驗(yàn)。
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