一、原理
(1)保持室內(nèi)為正壓或負(fù)壓均能滿足檢驗要求,但條件允許時,負(fù)壓潔凈室宜用正壓檢驗,正壓潔凈室宜用負(fù)壓檢驗。
(2)可按以下方法進(jìn)行檢測:
1.壓力衰減法
使室內(nèi)達(dá)到某一壓力(正壓或負(fù)壓),關(guān)閉加壓或抽負(fù)壓系統(tǒng),觀察壓力隨時間哀減的情況,記錄下壓力衰減到起始壓力的半時所用的時間,即為測量室內(nèi)正壓或負(fù)壓的半衰期。
2.恒壓法
使室內(nèi)達(dá)到某一正壓,同時向室內(nèi)補(bǔ)氣,使室壓達(dá)到要求的穩(wěn)定值而不下降時的補(bǔ)氣量即為漏泄量。使室內(nèi)達(dá)到某一負(fù)壓,使室壓維持要求的穩(wěn)定值而不下降時的抽氣量即為漏泄量。
二、壓力衰減法
(1)可按以下步驟進(jìn)行檢測
1.將所測潔凈室的溫度控制在設(shè)計范圍內(nèi)并保持穩(wěn)定,記錄壓力衰減測試過程中室內(nèi)溫度的變化(溫度計或溫度傳感器的最小示值不宜大于0.1℃)。
2.關(guān)閉所測潔凈室圍護(hù)結(jié)構(gòu)上的門、傳遞窗等,關(guān)閉回風(fēng)管(或排風(fēng)管)上的氣密閥門,不得在風(fēng)口上加其他密封措施,并維持各種孔洞縫隙的密封現(xiàn)狀。
3.開啟送風(fēng),使室內(nèi)壓力上升至已商定的測試壓力(壓力計量程至少為測試壓力的1.5倍,最小示值不宜大于10Pa),壓力穩(wěn)定后,停止送風(fēng),關(guān)閉送風(fēng)閥門。
4.或反之關(guān)閉送風(fēng)管上的閥門,如果送風(fēng)管上無閥或閥不嚴(yán),應(yīng)在送風(fēng)口上用塑料膜加盲板的方法封住風(fēng)口,開啟排風(fēng),使室內(nèi)壓力下降至已商定的測試壓力,壓力穩(wěn)定后,停止排風(fēng),關(guān)閉排風(fēng)氣密閥門。
5.從停止送(排)風(fēng)起,記錄壓力隨時間衰減的數(shù)據(jù),每1min記錄1次壓差和溫度,連續(xù)記錄至室內(nèi)壓力下降至初始壓力的一半時止。
6.測試結(jié)束后慢慢打開風(fēng)閥,使房間壓力恢復(fù)到正常狀態(tài)。
7.如果需要進(jìn)行重復(fù)測試,20min后進(jìn)行。
8.當(dāng)不用風(fēng)機(jī)時也可用空氣壓縮機(jī)或真空泵。
(2)檢測報告應(yīng)包括以下內(nèi)容:
1.檢測條件,包括室內(nèi)溫度等。
2.檢測方法,包括檢測所用儀器設(shè)備規(guī)格型號及精度;所測潔凈室壓力、溫度的動態(tài)變化;檢測持續(xù)的時間。
3.檢測結(jié)果包括所測潔凈室壓力下降至初始壓力的1/2時的時間內(nèi)壓力衰減率;所測潔凈室圍護(hù)結(jié)構(gòu)嚴(yán)密性的評價
三、恒壓法
(1)可按以下步驟進(jìn)行檢測:
1.將所測潔凈室的溫度控制在設(shè)計范圍內(nèi)并保持穩(wěn)定,記錄測試過程中室內(nèi)溫度的變化(溫度計或溫度傳感器的最小示值不宜大于0.1℃)。
2.關(guān)閉所測潔凈室圍護(hù)結(jié)構(gòu)上的門、傳遞窗等,關(guān)閉回風(fēng)管(或排風(fēng)管).上的閥門,如果風(fēng)管上無閥或閥不嚴(yán),應(yīng)在回風(fēng)口(或排風(fēng)口)上用塑料膜加盲板的方法封住風(fēng)口。
3.開啟送風(fēng),使室內(nèi)壓力上升至500Pa,停止送風(fēng),關(guān)閉送風(fēng)閥門。通過圍護(hù)結(jié)構(gòu)上的孔洞和導(dǎo)管,由送風(fēng)機(jī)或空氣壓縮機(jī)向室內(nèi)補(bǔ)氣,通過調(diào)節(jié)安裝在導(dǎo)管上的調(diào)節(jié)閥調(diào)整補(bǔ)氣流量,以維持潔凈室內(nèi)的壓力穩(wěn)定不下降,每隔1min記錄一次補(bǔ)氣管路上浮子流量計讀數(shù),此數(shù)即為漏氣量,測試持續(xù)的時間宜不超過5min,取平均值。
4.反之關(guān)閉送風(fēng)閥,開啟排風(fēng),當(dāng)室內(nèi)壓力下降至一500Pa時關(guān)閉排風(fēng),開啟真空泵保持室內(nèi)壓力,記錄真空泵抽氣量,此數(shù)即漏泄量。
5.測試結(jié)束后慢慢打開風(fēng)閥,使房間壓力恢復(fù)到正常狀態(tài)。
6.如果需要進(jìn)行重復(fù)測試,20min后進(jìn)行。
7.當(dāng)不用風(fēng)機(jī)時也可用空氣壓縮機(jī)或真空泵。
(2)檢測報告應(yīng)包括以下內(nèi)容:
1.檢測條件,包括室內(nèi)溫度等。
2.檢測方法,包括檢測用儀器設(shè)備規(guī)格型號及精度;室內(nèi)溫度的動態(tài)變化;漏泄量的動態(tài)變化。
3.檢測結(jié)果包括所測潔凈室5min內(nèi)的每小時漏泄率;所測潔凈室圍護(hù)結(jié)構(gòu)嚴(yán)密性的評價。
四、安全要求
1.應(yīng)制定防范預(yù)案。
2.必須對被檢驗室內(nèi)的溫度進(jìn)行監(jiān)測。
3.恒壓法測試持續(xù)時間不宜太長。
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