純水是指純凈水一般以城市自來(lái)水為水源，通過(guò)多層過(guò)濾，可將微生物等有害物質(zhì)去除，但同時(shí)也去除了氟、鉀、鈣、鎂等人體所需的礦物質(zhì)。
臭氧（O3）的消毒原理是：臭氧在常溫、常壓下分子結(jié)構(gòu)不穩(wěn)定，很快自行分解成氧氣（O2）和單個(gè)氧原子（O）；后者具有很強(qiáng)的活性，對(duì)細(xì)菌有極強(qiáng)的氧化作用，將其殺死，多余的氧原子則會(huì)自行重新結(jié)合成為普通氧原子（O2），不存在任何有毒殘留物，故稱(chēng)無(wú)污染消毒劑，它不但對(duì)各種細(xì)菌（包括肝炎病毒，大腸桿菌，綠濃桿菌及雜菌等）有極強(qiáng)的殺滅能力，而且對(duì)殺死霉素也很有效。
1、臭氧的滅菌機(jī)制及過(guò)程類(lèi)屬于生物化學(xué)過(guò)程， 氧化分解了細(xì)菌內(nèi)部氧化葡萄糖所必須的葡萄糖氧化酶。
2、直接與細(xì)菌、病毒發(fā)生作用，破壞其細(xì)胞器和核糖核酸，分解DNA、RNA，蛋白質(zhì)、脂質(zhì)類(lèi)和多糖等大分子聚合物，使細(xì)菌的物質(zhì)代謝生產(chǎn)和繁殖過(guò)程到破壞。
3、滲透胞膜組織，侵入細(xì)胞膜內(nèi)作用于外膜脂蛋白和內(nèi)部的脂多糖，使細(xì)胞發(fā)生通透畸變，導(dǎo)致細(xì)胞溶解死亡。并且將死亡菌體內(nèi)遺傳基因、寄生菌種、寄生病毒粒子、噬菌體、枝原體及熱原（細(xì)菌病毒代謝產(chǎn)物、內(nèi)毒素）等溶解變性滅亡。
活性炭依靠吸附和過(guò)濾作用主要去除水中的異色、異味、余氯、殘留消毒物等有機(jī)物雜質(zhì)。
薄膜微孔過(guò)濾法包括三種形式：深層過(guò)濾、篩網(wǎng)過(guò)濾、表面過(guò)濾。
深層過(guò)濾是以編織纖維或壓縮材料制成的基質(zhì)，利用隋性吸附或是捕捉方式來(lái)留住顆粒，如常用的多介質(zhì)過(guò)濾或砂濾；深層過(guò)濾是一種較為經(jīng)濟(jì)的方式，可去除98%以上的懸浮固體，同時(shí)保護(hù)下游的純化單元不會(huì)被堵塞，因此通常做為預(yù)處理。
表面過(guò)濾則是多層結(jié)構(gòu)，當(dāng)溶液通過(guò)濾膜時(shí)，較濾膜內(nèi)部孔隙大的顆粒將被留下來(lái)，并主要堆積在濾膜表面上，如常用的PP纖維過(guò)濾。表面過(guò)濾可去除99.9%以上的懸浮固體，所以也可作為預(yù)處理或澄清用。
篩網(wǎng)濾膜基本上是具有一致性的結(jié)構(gòu)，就象篩子一般，將大于孔徑的顆粒，都留在表面上（這種濾膜的孔量度是非常精準(zhǔn)的），如超純水機(jī)終端使用的用點(diǎn)保安過(guò)濾器；篩網(wǎng)過(guò)濾微孔過(guò)濾一般被置于純化系統(tǒng)中的最終使用點(diǎn)，以去除最后的殘留微量樹(shù)脂片、碳屑、膠體和微生物。
離子交換法的原理是將水中的無(wú)機(jī)鹽陰陽(yáng)離子如鈣離子Ca2+、鎂離子Mg2+、硫酸鹽SO42-、硝酸鹽NO3-等，通過(guò)與離子交換樹(shù)脂交換，使水中的陰、陽(yáng)離子與樹(shù)脂中的陰陽(yáng)離子相交換，從而使水得到純化。
它是以壓力為推動(dòng)力，利用反滲透膜只能透水而不能透過(guò)溶質(zhì)的選擇性，從含有各種無(wú)機(jī)物、有機(jī)物、微生物的水體中，提取純水的物質(zhì)分離過(guò)程。反滲透膜的孔徑小于10埃（1埃等于10－10米），具有極強(qiáng)的篩分作用，其脫鹽率高達(dá)99％，除菌率大于99.5%?？扇コ械臒o(wú)機(jī)鹽、糖類(lèi)、氨基酸、細(xì)菌、病毒等雜質(zhì)。如果以原水水質(zhì)及產(chǎn)水水質(zhì)為基準(zhǔn)，經(jīng)過(guò)適當(dāng)設(shè)計(jì)后，RO是將自來(lái)水純化的最經(jīng)濟(jì)的有效方法，同時(shí)也是超純水系統(tǒng)最好的前處理方法。
微孔薄膜是依其過(guò)濾孔徑的大小來(lái)去除微粒，而超濾(UF)薄膜則像一個(gè)分子篩，它以尺寸為基準(zhǔn)，讓溶液通過(guò)極微細(xì)的孔，以達(dá)到分離溶液中不同大小分子之目的。
超濾膜是一種強(qiáng)韌、薄、具有選擇性的通透膜，通常認(rèn)為其過(guò)濾孔徑約為0.01μm，可截留某種特定大小以上的分子，包括：膠質(zhì)、微生物和熱源。較小的分子，例如：水和離子，都可通過(guò)濾膜。
紫外線(xiàn)(UV)、臭氧滅菌超純水處理工藝
采用紫外燈所放射出來(lái)的254nm/185nm的紫外線(xiàn)可以有效的殺死細(xì)菌和降解有機(jī)物。
一種新的去離子水處理方法。又稱(chēng)連續(xù)電除鹽技術(shù)，EDI裝置將離子交換樹(shù)脂充夾在陰/陽(yáng)離子交換膜之間形成EDI單元。這種方法不需再用酸堿對(duì)樹(shù)脂進(jìn)行再生，環(huán)保性好。