(一)電子廠生產(chǎn)工藝對(duì)潔凈室生產(chǎn)環(huán)境的要求非常嚴(yán)格
電子廠尤其是微電子和光電子產(chǎn)業(yè)的電子工廠,工藝生產(chǎn)對(duì)大面積高潔凈度潔凈室所要求的生產(chǎn)環(huán)境不僅僅有:建筑圍護(hù)、結(jié)構(gòu)、空氣、水以及氣體、溶劑等原材料,而且還有聲、光、電、磁、振等各種環(huán)境。例如:建筑形式、層高承重、圍護(hù)的裝修材料;空氣的潔凈度、溫濕度、 靜壓力;水和氣體的純度和重金屬等含量以及噪聲、照度、靜電、電磁波、微振動(dòng)等等??偟膩?lái)說,微電子和光電子對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的要求可用“精”、“凈”、 “純”、“大” 來(lái)描寫。
建造電子廠的潔凈室最重要的是要使建造的潔凈室應(yīng)能滿足生產(chǎn)工藝對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的嚴(yán)格要求,使之能高效率、高成品率地生產(chǎn)出高質(zhì)量的電子產(chǎn)品。這是建造高級(jí)別潔凈室最根本的目的。
(二)電子廠高級(jí)別潔凈室的建造投資費(fèi)用非常高
高級(jí)別潔凈室建造投資的費(fèi)用很高。一般來(lái)說4級(jí)(10級(jí))、5級(jí)(100級(jí))垂直單向流潔凈室,其室內(nèi)建筑圍護(hù)裝修(包括墻、頂、地、門窗等)和凈化空調(diào)系統(tǒng)(包括制冷和空調(diào)、凈化設(shè)備、管道和配件)其建設(shè)初投資大約為10000~15000元/m2;如果再加 上純水制備設(shè)備和系統(tǒng)管線配件,純氣的發(fā)生設(shè)備和系統(tǒng)管線配件、廢水廢氣排放設(shè)備和系統(tǒng)管線配件;消防系統(tǒng)設(shè)備管線配件;供配電和自動(dòng)控制系統(tǒng)的設(shè)備管線配件以及集中式真空清掃系統(tǒng)設(shè)備配件管線等等,其單位面積的初投資可高達(dá)25000~30000元/m2。
(三)電子廠高級(jí)別潔凈室的運(yùn)行管理費(fèi)用非常貴
因?yàn)殡娮訌S高級(jí)別潔凈室的凈化送風(fēng)量大、工藝設(shè)備局部排風(fēng)量大、新風(fēng)量大,溫、濕度要求嚴(yán)格,所以送風(fēng)的空氣熱濕處理的冷量、熱量、加濕量也大,空氣輸配的能量消耗量大,運(yùn)行費(fèi)用很貴。例如:江蘇某精密光電的基板生產(chǎn)線高級(jí)別潔凈室面積約800m2,凈化送風(fēng)量120000m3/h,新風(fēng)量90000 m3/h,空調(diào)冷量約2000 kw。其凈化空調(diào)系統(tǒng)空氣輸配風(fēng)機(jī)(新風(fēng)機(jī)組風(fēng)機(jī)和FFU風(fēng)機(jī))總耗電量約為300 kw/h,全年電費(fèi)約130萬(wàn)元人民幣(每度電僅按0.6元/度計(jì)),而空氣熱濕處理的耗電量760kw/h,全年電費(fèi)約為330萬(wàn)元人民幣。全年凈化空調(diào)系統(tǒng)運(yùn)行總費(fèi)用高達(dá)約460萬(wàn)元,折合單位面積年運(yùn)行費(fèi)用約為5750元/ m2。
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(四)電子工廠高級(jí)別潔凈室的適應(yīng)性、靈活性要非常強(qiáng)
微電子集成電路的發(fā)展規(guī)律告訴我們,每隔2~3年就上一個(gè)臺(tái)階,其芯片的集成度就要增加4倍,特征尺寸(線寬)就要縮小30%,年銷售價(jià)格就要下降30%。因?yàn)椋呻娐酚质前l(fā)展速度十分迅速的產(chǎn)業(yè),隨之而來(lái)的為其服務(wù)的生產(chǎn)環(huán)境技術(shù)和高級(jí)別潔凈室技術(shù)也必須隨之發(fā)展而發(fā)展,才能適應(yīng)微電子產(chǎn)業(yè)的飛速發(fā)展。
繼微電子之后發(fā)展起來(lái)的光電子產(chǎn)業(yè)的發(fā)展速度比微電子產(chǎn)業(yè)還快。如TFT-LCD 技術(shù)每1~2 年就更新一代。因此,為其服務(wù)的生產(chǎn)環(huán)境技術(shù)、高級(jí)別潔凈室技術(shù)必須具有極大適應(yīng)性、靈活性以滿足微電子、光電子技術(shù)不斷發(fā)展進(jìn)步的要求。因?yàn)?,建一個(gè)廠房,建造一個(gè)高級(jí)別潔凈室是百年大計(jì),不是一年二年就能拆掉重建 。因此,在設(shè)計(jì)和建造這樣高級(jí)別潔凈室時(shí),就應(yīng)考慮到生產(chǎn)工藝的發(fā)展、變更使?jié)崈羰揖哂泻芎玫倪m應(yīng)性和靈活性。多年建造經(jīng)驗(yàn)告訴我們,從潔凈室等等都必須百分之百的滿足生產(chǎn)工藝的要求。保證環(huán)境參數(shù)可靠,穩(wěn)定不出差錯(cuò)。另外,從安全角度上講,即建筑結(jié)構(gòu)承重的安全和防火防爆防毒的安全更是十分重要的,要遵照“以人為本”的方針,保證人員的生命安全和保護(hù)工廠財(cái)產(chǎn)的安全更是設(shè)計(jì)、建造和使用潔凈室時(shí)應(yīng)注意的頭等大事。
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