有防微振要求的潔凈廠房建筑物結(jié)構(gòu)設(shè)計時，應(yīng)根據(jù)建筑物內(nèi)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝布置及其對防微振有嚴(yán)格要求的部位、設(shè)備的設(shè)置狀況和輔助設(shè)施一公用動力設(shè)施的布置以及 振動或隔振措施狀況等，并應(yīng)密切配合做建筑結(jié)構(gòu)防微振設(shè)計。建筑結(jié)構(gòu)的防微振設(shè)計應(yīng)依據(jù)不同行業(yè)、不同工序或不同設(shè)備的要求，按設(shè)計流程進(jìn)行，建筑結(jié)構(gòu)的防微振設(shè)計內(nèi)容有建筑物地基基礎(chǔ)、地面結(jié)構(gòu)或底板結(jié)構(gòu)和主體結(jié)構(gòu)等的防微振設(shè)計。在國家標(biāo)準(zhǔn)《電子工業(yè)防微振工程技術(shù)規(guī)范》中對有微振控制要求的建筑物地基基礎(chǔ)、地面結(jié)構(gòu)、主體結(jié)構(gòu)以及精密設(shè)備儀器的獨立基礎(chǔ)等的防微振措施作出了較詳細(xì)的規(guī)定：有防微振要求的潔凈廠房等建筑物內(nèi)的設(shè)備布置時應(yīng)做到，精密設(shè)備及儀器與動力設(shè)備的布置較靠近時，應(yīng)對動力設(shè)備采取隔振措施；當(dāng)樓層布置精密設(shè)備或儀器時，動力設(shè)備應(yīng)布置在底層或樓層邊跨， 并應(yīng)在樓層與精密設(shè)備或儀器所在區(qū)域隔離通常不應(yīng)將精密設(shè)備及儀器布置在受電梯振動影響的范圍內(nèi)；當(dāng)樓層布置精密設(shè)備及儀器時，其位置宜位于梁、墻、柱等結(jié)構(gòu)剛度較大的部位或附近。當(dāng)建筑物為多層廠房時不直設(shè)置起重設(shè)備，若必須設(shè)置 起重設(shè)備時，直采用懸臂式起重設(shè)備或其他振動影響較小的運輸工具。設(shè)置在有防微振要求的建筑物內(nèi)的動力設(shè)備及產(chǎn)生振動的管道進(jìn)入防微振區(qū)域時，應(yīng)采取隔振措施。
潔凈廠房建筑物的防微振結(jié)構(gòu)形式多樣，通常應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝要求和建筑物的建筑結(jié)構(gòu)等確定。對建筑物地基基礎(chǔ)的防微振設(shè)計主要要求：抗震設(shè)防烈度為7度、8度的地區(qū)，建筑物基礎(chǔ)持力層范圍內(nèi)存在承載力特征值分別小于80kPa、100kPa的軟弱黏土層時， 應(yīng)采用樁基或人工處理復(fù)合地基。采用復(fù)合地基時，應(yīng)按國家現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)《建筑地基基礎(chǔ)設(shè)計規(guī)范》和《建筑地基處理技術(shù)規(guī)范》的有關(guān)規(guī)定進(jìn)行載荷試驗和地基變形驗算；防微振廠房同一結(jié)構(gòu)單元的基礎(chǔ)不宜埋置在不同類別的地基土上。這里所指的軟弱黏土層主要是淤泥、淤泥土、沖填土、雜填土或其他高壓縮土層，這類土層支承載力低、壓縮性大，基礎(chǔ)沉降量大，容易產(chǎn)生不均勻沉降，使地坪、樓面、墻體等產(chǎn)生裂縫。精密設(shè)備、儀器有較嚴(yán)格的防微振要求，一般應(yīng)選擇樁基穿透軟弱黏土層 ，若采用人工處理復(fù)合地基時，處理深度也應(yīng)穿透軟弱黏土層。地面結(jié)構(gòu)或底板結(jié)構(gòu)的防微振設(shè)計應(yīng)該滿足的要求是：集成電路制造廠房前工序、液晶顯示器制造廠房、納米科技建筑及實驗室應(yīng)按防微振要求設(shè)置厚板式鋼筋混凝土地面。當(dāng)采用天然地基時，地面結(jié)構(gòu)的厚度不直小于500mm，地基土應(yīng)夯壓密實，壓實系數(shù)不得小于0.95。當(dāng)采用樁基支承的結(jié)構(gòu)地面時，地面結(jié)構(gòu)的厚度不宜小于400mm，對于軟弱土地區(qū)，不直小于500mm；對于欠固結(jié)土，宜采取防止樁間土與地面結(jié)構(gòu)底部脫開的措施；當(dāng)?shù)孛鏋槌L混凝土結(jié)構(gòu)時，不宜設(shè)置伸縮縫，可采用超長混凝士結(jié)構(gòu)無縫設(shè)計措施。
地面或底板結(jié)構(gòu)采用厚板，提高了地面的整體剛度，工程實踐證明，這對于防微振是非常有效的。當(dāng)采用樁基支承的地面結(jié)構(gòu)時，由于地面與樁連成了一個整體，因此其厚度可以適當(dāng)減薄；對于欠固結(jié)土，直在澆筑底板結(jié)構(gòu)前，將樁間夯壓密實。
有防微振控制要求的潔凈廠房主體結(jié)構(gòu)的防微振設(shè)計通常應(yīng)該符合下面的要求：集成電路制造廠房前工序、液晶顯示器件制造廠房光伏太陽能制造廠房納米科技建筑及各類實驗室等所在建筑物的主體結(jié)構(gòu)宜采用小跨度柱網(wǎng)，工藝設(shè)備層平臺宜采用鋼筋混凝土結(jié)構(gòu)，平臺與周圍結(jié)構(gòu)之間直設(shè)置隔振縫。工藝設(shè)備層的鋼筋混凝土平臺-般均采用小跨度柱網(wǎng)，如3.0m、3.6m、4.2m、4.8m ，最大不超過6.0m ，柱網(wǎng)尺寸應(yīng)以0.6m為模數(shù)；為提高鋼筋混凝土平臺的整體剛度，從而提高其固有振動頻率，防微振工藝設(shè)備層平臺通常采用現(xiàn)澆鋼筋混凝土梁板式或井式樓蓋結(jié)構(gòu)，亦河采用鋼框架組合樓板結(jié)構(gòu)。當(dāng)采用混凝土平臺時，其現(xiàn)澆梁、板、 柱截面的最小尺寸應(yīng)該比非防微振工藝設(shè)備層平臺提高25%~40%，從而提高了工藝設(shè)備層平臺的整體剛度，工程實踐表明這對于防微振是十分有效的，現(xiàn)澆鋼筋混凝土平臺的梁、板、柱截面的最小尺寸。超長混凝土結(jié)構(gòu)無縫設(shè)計技術(shù)還應(yīng)加強(qiáng)縱向梁(墻)、板的縱向通長鋼筋，一般縱向框架梁上部的通長鋼筋不應(yīng)小于支座或跨中鋼筋截面面積的1/4，每側(cè)溫度構(gòu)造鋼筋的最小配筋率不宜小于0.2%；混凝土墻體水平縱向鋼筋的最小配筋率不宜小于0.4%。樓板、屋面板縱向鋼筋的最小配筋率不宜小于0.4%，屋面板一般采用雙層配筋，且溫差較大時應(yīng)適當(dāng)增加配筋。超長混凝土結(jié)構(gòu)無縫設(shè)計技術(shù)應(yīng)加強(qiáng)保溫隔熱措施，做好屋面和墻面的保溫隔熱層，既是建筑節(jié)能措施，也是降低溫度應(yīng)力的主要途徑，對于潔凈廠房尤為重要。精密設(shè)備及儀器的獨立基礎(chǔ)對沉降控制的要求比建筑物基礎(chǔ)更為嚴(yán)格，為此，地面設(shè)置的精密設(shè)備及儀器基礎(chǔ)底面應(yīng)設(shè)在堅硬土層或基巖上，當(dāng)基礎(chǔ)底面持力層的承載力特征值達(dá)不到300kPa時，應(yīng)采用樁基礎(chǔ)或人工處理復(fù)合地基。若精密設(shè)備及儀器受中低頻振動影響敏感時，基礎(chǔ)周圍可不設(shè)隔振溝；精密設(shè)備及儀器的基臺采用框架式支承時，通常采用鋼筋混凝土框架，臺板宜采用型鋼混凝土結(jié)構(gòu)，其周邊應(yīng)設(shè)隔振縫；工藝設(shè)備層平臺上設(shè)置的精密設(shè)備、儀器一般用防微振基臺，臺板宜采用型鋼混凝土結(jié)構(gòu)，厚度宜大于200mm。
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