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一、高純氣體 、特種氣體管道及其閥門附件等的材質(zhì)應符合工程設計文件的要求。采用低碳不銹鋼管時，其安裝施工應符合規(guī)范的規(guī)定。
二、管路系統(tǒng)的試運轉(zhuǎn)應包括管路吹掃、氣密性、泄漏性試驗和純度測試。
三、高純氣體、特種氣體供應設施安裝前，應按工程設計文件和產(chǎn)品說明書的要求，檢查設備及填充的純化材料、閥門和管件的完整性、密封性，并應做檢查記錄。
檢查數(shù)量：按氣體品種、分系統(tǒng)全數(shù)檢查。
檢驗方法：觀察檢查、尺量。
四、純化設備、特氣柜的搬運、就位應符合下列規(guī)定：
1搬入潔凈室(區(qū))前應進行清潔，符合要求后應從規(guī)定的設備搬入口運入；
2整體設備搬運時，應按設備的構造、管道及閥門等附件的配置狀況安全運輸，不得倒置，并應可靠固定；
3設備就位時，應按工程設計文件和產(chǎn)品說明書要求，做好接管、接線定位；
4就位后，水、電接口應按工程設計文件要求連接；
5氣體管道接口應在分系統(tǒng)的氣體輸送管道安裝試運轉(zhuǎn)合格后再連接。
檢查數(shù)量：按氣體品種、分系統(tǒng)全數(shù)檢查。
檢驗方法：觀察檢查、尺量。
五、高純氣體、特種氣體系統(tǒng)的閥門箱、吹掃盤的安裝應符合下列規(guī)定：
1應檢查箱體及箱內(nèi)閥門、儀表和附件的完整性、密封性和合格證書等，并應做好記錄；
2安裝位置應按工程設計文件、產(chǎn)品說明書要求進行，并應檢查接管、接線方位的正確性；
3氣體管道接口應在所在系統(tǒng)試運轉(zhuǎn)合格后再連接。
檢查數(shù)量：按氣體品種、分系統(tǒng)全數(shù)檢查。
檢驗方法：觀察檢查、尺量。
六、高純氣體、特種氣體設施施工安裝試運轉(zhuǎn)的純度測試應符合下列規(guī)定：
1純度測試介質(zhì)，宜采用工作氣體進行。
2測試氣體的壓力，宜與輸送介質(zhì)的設計壓力相同。
3測試氣體的檢測取樣口或排氣接口，應設在供氣系統(tǒng)中要求氣體純度及其雜質(zhì)含量最嚴格且距離最長的用氣設備處。
4純度測試過程，取樣時間的間隔宜為4h；氣體樣品應采用與輸送介質(zhì)純度及允許雜質(zhì)含量相應的精度等級的儀器進行分析。
5當測試氣體進、出口的純度及其氧痕量、水痕量等雜質(zhì)含量達到一致時，應認為純度測試合格。
檢查數(shù)量：按系統(tǒng)全數(shù)檢查。
檢驗方法：儀器檢查。
七、管路系統(tǒng)的試驗應符合下列規(guī)定：
1高純氣體、特種氣體供應設施的強度試驗、氣密性試驗和泄漏量試驗及試驗壓力均應按工程設計文件要求執(zhí)行。
2試驗氣體宜采用無油干燥壓縮空氣或純氮氣或純氦氣；試驗氣體壓力按規(guī)定逐步升至系統(tǒng)強度試驗壓力后，應保持10min，然后降壓至氣密性試驗壓力，檢查接口、焊縫，應以不漏為合格。
3氣密性試驗合格后，進行泄漏量試驗，試驗氣體為純氮或無油干燥壓縮空氣時，系統(tǒng)應以設計壓力保持24h，?檢查泄漏率不超過0. 5%為合格。采用氦氣為試驗氣體時，系統(tǒng)應以設計壓力保持1h，檢查泄漏率不應超過0.5%為合格。不合格時，應檢查原因并進行完善后，再進行泄漏量試驗，直至合格為止。
4管路系統(tǒng)的試驗，不應包含純化設備、特氣柜和閥門箱等。
檢查數(shù)量：按系統(tǒng)全數(shù)檢查。
檢驗方法：觀察檢查、儀表檢查。
八、管路吹掃應符合 下列規(guī)定；
1應按氣體品種、工作參數(shù)分系統(tǒng)分別進行吹掃。
2管路系統(tǒng)應采用0.3MPa~0.5MPa的無油干燥壓縮空氣或純氮進行吹掃，吹掃氣體應設置過濾精度嚴于0.3μm的氣體過濾器去除微粒；對輸送可燃氣體的管路宜采用純氮吹掃。
3在管路系統(tǒng)吹掃氣體排出口設靶檢查，應以靶上未見微粒為合格；對輸送可燃氣體的管路系統(tǒng)，應以排出口吹掃氣體中含氧量小于1%為合格。
檢查數(shù)量：按系統(tǒng)全數(shù)檢查。
檢驗方法：觀察檢查、儀表檢查。
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