IC 生產(chǎn)由于其工藝加工線寬極小，所以對(duì)溫濕度的精度要求很高，通常溫度精度為土0.3~±0.5℃，相對(duì)濕度精度為±2%~±3%。該類廠房潔凈室一般采用新風(fēng)集中處理加FFU系統(tǒng)，在下夾層或.上靜壓箱內(nèi)設(shè)干表冷器。潔凈室內(nèi)的相對(duì)濕度由新風(fēng)機(jī)組保證，溫度由干表冷器保證。
一、新風(fēng)處理及相對(duì)濕度保證
新風(fēng)處理機(jī)組中設(shè)置初、中、高效三級(jí)過(guò)濾，以去除室外空氣中的灰塵粒子，設(shè)高效過(guò)濾器很有必要，可以延長(zhǎng)潔凈室頂部FFU內(nèi)ULPA過(guò)濾器的使用壽命；設(shè)置化學(xué)過(guò)濾器主要是去除室外空氣中對(duì)IC生產(chǎn)有影響的雜質(zhì)氣體，根據(jù)工廠所在地的室外空氣品質(zhì)設(shè)置相應(yīng)的化學(xué)過(guò)濾器，化學(xué)過(guò)濾器后通常需設(shè)中效過(guò)濾器以去除化學(xué)過(guò)濾器本身的產(chǎn)塵；通過(guò)設(shè)在新風(fēng)處理機(jī)組內(nèi)的兩級(jí)表冷、兩級(jí)加熱以及潔凈蒸汽加濕器保證新風(fēng)處理機(jī)組出口的干球溫度及露點(diǎn)溫度全年基本恒定，而機(jī)組出口的露點(diǎn)溫度還應(yīng)根據(jù)其對(duì)應(yīng)送風(fēng)區(qū)域內(nèi)的相對(duì)濕度進(jìn)行連續(xù)的重新整定，以保證室內(nèi)的相對(duì)濕度。這里不以房間內(nèi)的相對(duì)濕度直接控制加濕器或表冷器，而以房間內(nèi)的相對(duì)濕度連續(xù)的重新整定機(jī)組出口的露點(diǎn)溫度，再由該露點(diǎn)溫度控制加濕器或表冷器是為了得到更及時(shí)的濕度控制。
由于外網(wǎng)蒸汽中含有對(duì)IC生產(chǎn)有影響的雜質(zhì)，新風(fēng)處理機(jī)組的加濕應(yīng)采用潔凈蒸汽。潔凈蒸汽加濕器通常設(shè)在表冷器前，這樣可以使新風(fēng)處理機(jī)組有提高相對(duì)濕度控制精度的潛能。有些工程中是以噴淋初級(jí)純水(一級(jí)RO后)代替潔凈蒸汽加濕器，這是一舉兩得的好辦法，因?yàn)閲娏芗兯瓤梢赃_(dá)到加濕的目的，又可以去除空氣中對(duì)IC生產(chǎn)有影響的雜質(zhì)氣體。新風(fēng)處理機(jī)組還應(yīng)保證潔凈室內(nèi)的正壓，所以新風(fēng)機(jī)組內(nèi)的風(fēng)機(jī)應(yīng)配置變頻裝置，以潔凈室內(nèi)的正壓值控制風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)速。新風(fēng)集中處理有諸多優(yōu)點(diǎn)，但在寒冷地區(qū)使用時(shí)則特別要注意盤(pán)管的防凍問(wèn)題。另外因IC生產(chǎn)對(duì)環(huán)境的可靠性有極高的要求，新風(fēng)處理機(jī)生產(chǎn)對(duì)環(huán)境的可靠性有極高的要求，新風(fēng)處理機(jī)組必須設(shè)一臺(tái)備用機(jī)組。
二、循環(huán)風(fēng)處理及溫度保證
IC廠房潔凈室通常采用FFU系統(tǒng)，室內(nèi)空氣經(jīng)干表冷器冷卻處理后與新風(fēng)混合，再由設(shè)在房間頂部的FFU加壓、過(guò)濾后送入房間。還有一種情況是干表冷器設(shè)在上夾層，空氣處理過(guò)程略有不同，其過(guò)程為：新風(fēng)和回風(fēng)混合，再經(jīng)干表冷器冷卻，最后由FFU加壓、過(guò)濾后送入潔凈室。干表冷器主要是消除潔凈室內(nèi)的顯熱負(fù)荷，根據(jù)潔凈室內(nèi)的溫度控制對(duì)應(yīng)區(qū)域的干表冷器以保證房間的溫度。采用該系統(tǒng)應(yīng)注意以下幾點(diǎn)：
a)為得到精確的溫濕度控制，應(yīng)盡量減少Balloom內(nèi)各區(qū)域之間的氣流交叉，所以各區(qū)域的干表冷器結(jié)構(gòu)形式、空氣側(cè)阻力應(yīng)盡量一致。
b)考慮室內(nèi)濕度精度及表冷器空氣側(cè)阻力等因素，應(yīng)確保干表冷器在干工況下工作，干表冷器所用的冷凍水溫度應(yīng)根據(jù)室內(nèi)濕負(fù)荷、室內(nèi)空氣的露點(diǎn)溫度等因素確定，IC廠房工藝生產(chǎn)設(shè)備發(fā)濕量很少，考慮干表冷器所用冷凍水本身的溫度控制精度以及其他的安全余量，實(shí)際工程中一般冷凍水供水溫度比室內(nèi)空氣露點(diǎn)溫度高2~3℃，溫差通常取3~5℃，根據(jù)室內(nèi)溫度控制精度確定。干表冷器所用的冷凍水通常以混水方式或換熱方式得到。
c) 干表冷器斷面風(fēng)速不宜太高，因?yàn)檫^(guò)高的風(fēng)速會(huì)使干表冷器空氣側(cè)阻力偏大，而由于房間噪聲要求的限制FFU所能提供的機(jī)外余壓有限，一般為90Pa，考慮其他風(fēng)路阻力，干表冷器的空氣側(cè)阻力通?？刂圃?/span>40Pa左右。
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