《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》對潔凈廠房疏散走廊明確提出了機械排煙要求，但對于潔凈室沒有明確規(guī)定一定要設(shè)機械排煙，實際工程中各地消防部門對于集成電路廠房潔凈室是否設(shè)排煙的問題上要求也不一致；但集成電路生產(chǎn)企業(yè)的業(yè)主通常會將整個廠房進(jìn)行投保，由于集成電路生產(chǎn)中要使用多種易燃的氣體和液體，保險商一般均要求潔凈室設(shè)置機械排煙措施，否則增加保費。所以在集成電路潔凈工程中，潔凈室機械排煙經(jīng)常是不可回避的問題。集成電路廠房潔凈室國內(nèi)外目前常用的排煙方式有兩種：即下排煙和上排煙。
一、下排煙方式
下排煙一般是在潔凈室回風(fēng)下夾層或回風(fēng)豎井內(nèi)設(shè)置排煙口，當(dāng)潔凈室或潔凈室下夾層發(fā)生火災(zāi)時，則打開排煙口，開啟排煙風(fēng)機進(jìn)行排煙，此時新風(fēng)機組繼續(xù)運行，往潔凈室上夾層內(nèi)補充新風(fēng)，并通過必要的閥門切換使上夾層與潔凈室和下夾層隔開，上夾層內(nèi)新風(fēng)由FFU送入室內(nèi)。
采用下排煙必須有以下條件：即潔凈室發(fā)生火災(zāi)時，潔凈室頂部FFU下吹的斷面風(fēng)速必須大于煙氣上升的速度，否則煙氣會在潔凈室頂部積聚。通常FFU下吹速度為0.25~0.5m/s，而火災(zāi)的熱釋放率只要大于3kW，煙氣的上升速度就會大于0.5m/s，所以下排煙方式只是在潔凈室發(fā)生小火災(zāi)時有效。下排煙方式最近幾年在國外的一些集成電路廠房中得到應(yīng)用，但國內(nèi)工程中用得較少。
二、上排煙方式
上排煙是在潔凈室吊頂上設(shè)置排煙口，通過排煙風(fēng)管將各排煙口連接至排煙風(fēng)機，當(dāng)潔凈室發(fā)生火災(zāi)時，打開排煙口，開啟排煙風(fēng)機進(jìn)行排煙，排煙時新風(fēng)機組繼續(xù)運行，向回風(fēng)豎井內(nèi)補風(fēng)。上排煙方式潔凈室內(nèi)煙氣上升氣流和排煙氣.流方向一致，排煙效果比較理想，目前在工程中得到廣泛的應(yīng)用。
但采用上排煙方式實際工程中通常會出現(xiàn)以下兩個問題，第一個問題是排煙口的布置，在非單向流潔凈室中比較好解決，由于頂部的FFU沒有滿布，只需在盲板處設(shè)排煙口即可；而單向流潔凈室由于頂部滿布FFU，且集成電路廠房的潔凈室跨度都很大，只在側(cè)面布置排煙口又不能滿足要求，所以不可避免會出現(xiàn)的要在滿布FFU的潔凈室吊頂上設(shè)置排煙口，據(jù)了解目前已有一些制造公司開發(fā)出FFU和排煙口結(jié)合在一起的產(chǎn)品，使這問題得以解決。第二個問題是排煙分區(qū)問題，目前集成電路 生產(chǎn)廠房潔凈室基本上都采用Ballroom方式，潔凈面積達(dá)1萬多平方米的潔凈室?guī)缀鯖]有分隔，而工藝生產(chǎn)又都采用自動物料處理系統(tǒng)(AMHS)，各生產(chǎn)區(qū)域頂部都設(shè)有縱橫交錯的吊掛傳輸系統(tǒng)(OHT)， 劃分排煙分區(qū)確實比較困難，實際工程中經(jīng)常將整個Ballroom視為一個區(qū)，這又會面臨排煙量極大的問題，為減少排煙系統(tǒng)風(fēng)量，在某些工程中將工藝設(shè)備局部排風(fēng)系統(tǒng)兼作排煙，但排風(fēng)系統(tǒng)的管道、配件及設(shè)備應(yīng)滿足排煙要求。
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