1 超純水系統(tǒng)總體介紹 隨著電子工業(yè)的發(fā)展,在芯片的生產(chǎn)加工過程中,對于水質(zhì)的要求也越來越高。為了保證生產(chǎn)出超大規(guī)模的集成電路,除高純原材料、高純氣體、高純化學藥品外,高純水也是其中最關(guān)鍵的因素之一。高純水系統(tǒng)是將一般的市政用水處理成對不同離子的含量和顆粒度都有很高要求的超純水。超純水系統(tǒng)總體來說一般可分為三個部分:超純水制造區(qū)(CUB部分)、超純水拋光循環(huán)區(qū)(FAB部分)、超純水輸送管網(wǎng)(FAB各使用區(qū))。其中超純水制造區(qū)最為復雜,其又可分為:預處理、一次純水處理...
1 潔凈室的無塵標準及對照明燈具的特殊要求 現(xiàn)代社會對生產(chǎn)和生活環(huán)境的潔凈度要求越來越高,醫(yī)院手術(shù)室、各類醫(yī)藥、食品制造企業(yè)的生產(chǎn)環(huán)境,都有較高的潔凈要求,而微電子、集成電路和精密儀器設(shè)備制造等企業(yè)的生產(chǎn)車間的潔凈度要求則更高。 本文討論的潔凈室,泛指以上這些領(lǐng)域中涉及的空氣中懸浮粒子濃度受限的特殊房間,它的建造和使用應該減少誘入、產(chǎn)生及滯留的粒子,能達到一種相對無塵的狀態(tài)。同時,對室內(nèi)其它參數(shù)如溫度、濕度、...
潔凈室不僅僅對室內(nèi)空氣潔凈度有嚴格的要求,針對運行環(huán)境的噪音也有一定的國家標準參數(shù),因為潔凈室車間是一個相對密閉的、比較壓抑的一個環(huán)境,如果噪音控制不當,很容易造成車間工作人員以及生產(chǎn)環(huán)境的惡化。 ① 噪聲的測定方法: 當房間的面積不大于 50m2 時,僅測定房間中心一個點。當房間的面積較大時,每增加 50m2 增加一個測點。測點距離地面 1.0m。當有條件時,宜測房間靜態(tài)工況的噪聲和本底...
醫(yī)院空調(diào)的任務(wù)是維持室內(nèi)所需要的溫濕度并除去空氣中的塵埃、微生物、氣味和有害氣體。其中手術(shù)室空調(diào)的設(shè)計是最重要的,因為減少和避免通過空氣途徑的術(shù)后感染是保證手術(shù)成功、縮短患者恢復時間、降低醫(yī)療費用的關(guān)鍵所在。手術(shù)室空調(diào)的特點是服務(wù)面積小、風量大、能耗高、使用時間不確定,因此應特別注意在創(chuàng)造高潔凈度室內(nèi)氣候的同時空調(diào)系統(tǒng)的節(jié)能。本文以天津市某醫(yī)院手術(shù)室設(shè)計為例,介紹了設(shè)計者的一些新思路。1 手術(shù)室概況 該醫(yī)院潔凈手術(shù)部由8間手術(shù)室、...