————————————————————— 潔 凈 室 定 期 檢 查 項 目 ——————————————————————— 為了監(jiān)控潔凈室在使用過程中的正常運(yùn)行和維護(hù),應(yīng)對潔凈室的運(yùn)行狀況及相關(guān)的設(shè)施進(jìn)行定期檢查。一般定期檢查的項目見表1-1。 表1-1潔凈室定期檢查項目項目檢查方法及其他塵埃數(shù)在規(guī)定的時間、地點、用粒子計數(shù)器測定控制粒徑的微粒數(shù)溫濕度在規(guī)定的時間、地點測...