檢測是凈化工程建設(shè)之后比較重要的一個(gè)項(xiàng)目,在檢測凈化工程各項(xiàng)指標(biāo)過程中,有部分潔凈度檢測不合格,有的是廠房局部,也有整個(gè)工程。如果檢測不合格,雖然甲乙雙方通過整改、調(diào)試、清沽等。費(fèi)勁千辛萬苦達(dá)到了工程的要求,但是卻浪費(fèi)了大量的人力和物力,有些得不償失了。其實(shí),有些原因和缺陷在檢測前是完全可以避免的。據(jù)賽特凈化設(shè)備有限公司多年經(jīng)驗(yàn)了解到,造成凈化工程潔凈度不合格的主要原因有:1.凈化車間的設(shè)計(jì)不合理這種現(xiàn)象比較少見,主要是在一些小型的凈化級別要求不太高的潔凈室建造上?,F(xiàn)在凈化的競爭比較激烈,一些施工單位為了得到工程,在投標(biāo)中給出了較低的報(bào)價(jià)。在凈化工程的后期施工中,利用一些單位不太懂行的情況,偷工減料,使用功率較低的空調(diào)通風(fēng)壓縮機(jī)組,使送風(fēng)功率與凈化面積不匹配,導(dǎo)致潔凈度不合格。2.用低檔產(chǎn)品替代高檔產(chǎn)品在潔凈室高效過濾器的應(yīng)用上,國家規(guī)定在潔凈度10萬級或高于10萬級以上的空氣凈化處理,應(yīng)采用初效、中效、高效過濾器的三級過濾。而筆者在驗(yàn)證過程中,曾發(fā)現(xiàn)某大型凈化工程在l萬級的凈化級別上采用亞高效空氣過濾器代替高效空氣過濾器,從而造成了潔凈度不合格。最終更換了高效過濾器才符合了認(rèn)證的要求。3.回風(fēng)管道或回風(fēng)口設(shè)計(jì)、調(diào)試不好在設(shè)計(jì)方面的原因,有時(shí)因空間所限未能采用“頂送側(cè)回”或者回風(fēng)口數(shù)量不夠,在設(shè)計(jì)方面的原因排除后,回風(fēng)口的調(diào)試也是重要的工工環(huán)節(jié)。如果調(diào)試不好,回風(fēng)口阻力過大,回風(fēng)量...
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按指定方向沿著建筑物縫隙的氣流可以減少有害微粒的流通,如無較強(qiáng)干擾氣流,0.5-1.0M/S的流速可控制較輕粉塵和生物粒子。通過確定相鄰空間的壓力及壓差以控制氣流方向。在確定壓差的情況下,ISPE介紹了氣流通過縫隙(如門縫)的簡化計(jì)算方法。PV=(V/4005)2,V=Q/AVP=(Q/4005?A) 2 式中:4005為換算因子;V為速度,英尺/分,VP為速度壓力,此處設(shè)為房間壓差,英寸水柱;A為開孔面積,英尺為2;Q為空間流量,英尺3/分。當(dāng)孔口面積為1ft2、風(fēng)量為890ft3/min時(shí),在孔口兩側(cè)可形成0.05in水柱壓差。結(jié)構(gòu)縫隙會使室內(nèi)滲漏風(fēng)量大于計(jì)算風(fēng)量,故ISPE建議再按每英尺2房間面積附加(0.05-0.5ft/min)風(fēng)量,并通過滲漏測試進(jìn)行調(diào)整。 原理二:根據(jù)潔凈車間相對正壓的值確定正壓換氣次數(shù),依次計(jì)算正壓滲漏風(fēng)量。房間正壓換氣次數(shù)之間關(guān)系,可參照空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)手冊的推薦數(shù)值。因潔凈車間結(jié)構(gòu)、密封程度等都會影響滲漏風(fēng)量,故此法用于估算,詳細(xì)設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)兼顧其他因素。 壓差的測量與控制壓差的測量可采用兩種方式;不同房間之間;不同房間與同一個(gè)參照點(diǎn)之間。小型場所有限選擇不同等級區(qū)域之間的壓力,沒有氣鎖室時(shí)為潔凈室之間的壓差;大型設(shè)施通常采用共用參照點(diǎn)法,盡量減少傳感器數(shù)量,以減少復(fù)合誤差。 氣鎖室的設(shè)計(jì)在潔凈室出入口設(shè)氣鎖室,以...
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無塵車間工程項(xiàng)目在竣工完成之后,需要由相關(guān)人員對整個(gè)無塵車間的通風(fēng)系統(tǒng)進(jìn)行風(fēng)量檢測和風(fēng)速檢測。檢測的目的是了解風(fēng)量和風(fēng)速的偏差有多大,以便于工作人員現(xiàn)場調(diào)節(jié),要知道風(fēng)速過大是會影響空氣過濾器的使用壽命以及可能會將空氣過濾器吹穿。風(fēng)速過小又會直接影響車間內(nèi)部空氣的循環(huán)從而影響無塵車間空氣的潔凈度,下面是賽特凈化設(shè)備有限公司整理并分享的風(fēng)量和風(fēng)速的檢測方法,感興趣的可以了解一下。 無塵車間風(fēng)量和風(fēng)速的檢測方法如下: 1、風(fēng)量與風(fēng)速的檢測務(wù)必最先開展,潔凈空調(diào)機(jī)組的各項(xiàng)實(shí)際效果務(wù)必是在設(shè)計(jì)的風(fēng)量風(fēng)速條件下得到。 2、風(fēng)量檢測前務(wù)必查驗(yàn)風(fēng)機(jī)運(yùn)作是不是一切正常,系統(tǒng)中各構(gòu)件安裝是不是正確無誤,有無障礙和問題,所有的閥門應(yīng)固定不動(dòng)在一定的開啟位置上,且一定要實(shí)際測量被測風(fēng)口和風(fēng)管的規(guī)格尺寸。 3、檢測室內(nèi)數(shù)字微風(fēng)速儀器的最小刻度或讀值不可超過0.02m/s,通??梢杂脽崆蚴斤L(fēng)速儀,必須測得分速度時(shí),應(yīng)選用超聲波三維風(fēng)速計(jì)。 4、針對單向流無塵車間,可運(yùn)用室截面平均風(fēng)速和截面積乘積的方法明確送風(fēng)量,垂直單向流無塵車間的測定截面取距室內(nèi)地坪0.8m的無阻隔面(孔板、格柵除外)的水平截面,若有阻隔面,該測定截面應(yīng)拉高至阻隔面以上0.25m;水平單向流無塵車間取距送風(fēng)面0.5m的垂直于室內(nèi)地坪的截面,截面上測點(diǎn)間隔不可超過1m,...
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潔凈室廠房空調(diào)系統(tǒng)首先是空調(diào)系統(tǒng),因此,一般空調(diào)系統(tǒng)的節(jié)能措施,如圍護(hù)結(jié)構(gòu)保溫、系統(tǒng)變流量、排風(fēng)熱回收、選用高效制冷機(jī)、水泵風(fēng)機(jī)設(shè)備等,都可以適用于潔凈室廠房空調(diào)系統(tǒng)的節(jié)能設(shè)計(jì)和改造。同時(shí),潔凈室廠房空調(diào)系統(tǒng)有自己的特點(diǎn),也就有自己的系統(tǒng)節(jié)能特點(diǎn)和方式。 1 潔凈風(fēng)量與空調(diào)風(fēng)量分開 潔凈室送風(fēng)的功能,一是空調(diào)(空氣進(jìn)行溫、濕處理,滿足潔凈室的溫、濕度要求);二是凈化(空氣過濾滿足潔凈室的潔凈度要求)。一般情況下凈化風(fēng)量大大超過空調(diào)風(fēng)量。如果讓空調(diào)送風(fēng)同時(shí)起到空調(diào)和凈化的作用,即空調(diào)風(fēng)量和凈化風(fēng)量不分開,所有的回風(fēng)都要經(jīng)過空調(diào)箱集中處理。此非常大風(fēng)量經(jīng)過空氣處理設(shè)備時(shí),阻力會很大,風(fēng)機(jī)耗能急劇增大。 同時(shí),為了除濕,所有回風(fēng)都要處理到露點(diǎn)狀態(tài),后為了不使室內(nèi)溫度過低,還需對送風(fēng)進(jìn)行再熱。冷熱抵消,造成不必要的浪費(fèi)。而如果把空調(diào)和凈化兩部分風(fēng)量分開處理,凈化風(fēng)量就只進(jìn)行過濾處理,可大大縮短凈化風(fēng)量輸送管道長度;而對于空調(diào)風(fēng)量,由于風(fēng)量變小,可以節(jié)省空氣冷熱處理,并且同時(shí)可以減小輸送斷面和輸送耗能。 在常見的潔凈空調(diào)送風(fēng)方式中,集中送風(fēng)方式、隧道式送風(fēng)方式都沒有很好地將空調(diào)風(fēng)量與潔凈風(fēng)量分開。為了方便空調(diào)和凈化功能的分離,可充分利用房間結(jié)構(gòu)就近完成。利用房間夾層將大部分潔凈風(fēng)量直接送至頂層的高效過濾器處,而無需離開潔凈室,從而降低了潔凈風(fēng)量的輸送能...
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芯片有著很強(qiáng)動(dòng)力和潛力,隨著國內(nèi)的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,對芯片需求不斷增多,從LED/半導(dǎo)體/線路板芯片制備到器件封裝,對生產(chǎn)環(huán)境空氣品質(zhì)都有較高的要求,空氣品質(zhì)關(guān)系著成品率和產(chǎn)品品質(zhì)。很多半導(dǎo)體工業(yè)都需要用到無潔凈室。今天小編就來詳細(xì)介紹一下半導(dǎo)體集成電路潔凈室的原理還有標(biāo)準(zhǔn)是什么?以及日常維護(hù)事項(xiàng),一起往下看吧!【潔凈室】又稱為【無塵室】,是將一定空間范圍內(nèi)之空氣的微塵粒子、有害氣體、細(xì)菌等污染物排除于外,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在一定需求范圍內(nèi),而給予特別設(shè)計(jì)之房間。也就是說這個(gè)受控的房間內(nèi)之微塵粒子相當(dāng)稀少。根據(jù)國標(biāo)GB50073—2013,潔凈室的空氣潔凈度等級為1~9級。在具體實(shí)踐中,常參考美國標(biāo)準(zhǔn)FS 209E,其中的空氣潔凈度等級有1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級等,如表1-1所示。潔凈室應(yīng)該具備哪些要素?基本上潔凈室應(yīng)該要具備以下的功能:1、能去除空氣中漂浮之微塵粒子。2、能防止微塵粒子之產(chǎn)生。3、能控制溫度及濕度。這是因?yàn)槊荛]的環(huán)境需要溫度及濕度控制以符合人體舒適度,另一方面溫度及濕度也可以控制微生物的生長。其次,濕度過大也會影響到電子產(chǎn)品的品質(zhì)。4、能調(diào)節(jié)壓力。這是為了要控制無塵室內(nèi)為正壓或負(fù)壓。5、能調(diào)節(jié)溫度。6、能防止靜電。這是一定要的,電子產(chǎn)品怕靜電了,尤其是還未封裝的晶圓...
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1微電子廠房潔凈是暖通空調(diào)設(shè)計(jì)原因及方法分析1. 1 氣流組織方式垂直單向流為潔凈室內(nèi)氣流流型,風(fēng)機(jī)過濾單元機(jī)組在高效過濾器的作用下可以對空氣進(jìn)行預(yù)處理,確??諝膺_(dá)標(biāo)后再送入室內(nèi)。微電子廠潔凈廠房和生產(chǎn)工藝并不全都適合風(fēng)機(jī)過濾單元機(jī)組送風(fēng)模式,但是此種送風(fēng)模式因其具備一定的優(yōu)勢被越來越多的微電子廠房潔凈室所使用。因?yàn)轱L(fēng)機(jī)過濾單元機(jī)組送風(fēng)模式下潔凈室內(nèi)壓力遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于靜壓箱內(nèi)壓力,塵粒從靜壓箱向室內(nèi)滲透的情況較為少見。但是其他送風(fēng)模式下則需要采取更為復(fù)雜的方法,如接觸填料密封等方法來確保潔凈室頂棚的密封性,因此達(dá)不到負(fù)壓密封的要求。這是導(dǎo)致越來越多的微電子廠潔凈室采用風(fēng)機(jī)過濾單元機(jī)組送風(fēng)模式的主要原因。此外,微電子廠潔凈室工藝的更新速度和調(diào)整速度均較快,工作人員可以對風(fēng)機(jī)過濾單元機(jī)組進(jìn)行增減,在控制其數(shù)量的基礎(chǔ)上確保潔凈室潔凈度滿足生產(chǎn)工藝的需求。由此可見,風(fēng)機(jī)過濾單元機(jī)組送風(fēng)模式靈活性較高,與其他送風(fēng)模式相比更具優(yōu)勢。但是風(fēng)機(jī)過濾單元機(jī)組送風(fēng)模式也有一定的不足,該送風(fēng)模式下設(shè)備需要在吊頂上安裝,因此會產(chǎn)生較大的噪音和振動(dòng),期間設(shè)備安裝成本較高,這也是微電子廠潔凈室暖通空調(diào)設(shè)計(jì)需要考慮的問題。1. 2 空調(diào)負(fù)荷計(jì)算估算是潔凈室內(nèi)冷負(fù)荷計(jì)算的主要方式,其中估算指標(biāo)包括生產(chǎn)工藝、操作人員數(shù)量以及圍護(hù)結(jié)構(gòu)等。估算出來的潔凈室主生產(chǎn)區(qū)和光刻區(qū)冷負(fù)荷指標(biāo)分別為 450...
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每個(gè)潔凈室必須有各自文件形式的規(guī)定及工作步驟。下面提到的一般性規(guī)定,適用于所有的潔凈室,而不專門考慮在某一特定潔凈室內(nèi)進(jìn)行的特定工作步驟的具體特點(diǎn),也沒有考慮潔凈設(shè)備和潔凈服裝的狀況。 1、潔凈室內(nèi)只能有必要人員,室內(nèi)人員越多,污染水平越高。 2、只允許經(jīng)過培訓(xùn)的人員在潔凈室工作,只有那些具備特定工作所需技能的人員,才允許進(jìn)入潔凈室。 3、不允許工作人員將任何可能產(chǎn)生污染的東西帶入潔凈室。只有潔凈室內(nèi)工作所必須的物品,才允許帶入并且準(zhǔn)備這些 時(shí),要采取防污染措施。潔凈室內(nèi)不允許有下述物品: 食品、飲料、糖果、口香糖 、瓶瓶罐罐(非用品) 、香煙、煙斗、鼻煙 、收音機(jī)、唱片機(jī)、袖珍錄音機(jī) 、用木材、橡膠、紙、皮革、棉花及其他天然材料制成的物品 、非潔凈室專用紙、包括報(bào)紙、雜志、書籍、紙巾 、含鉛鉛筆和橡皮可釋放粒子的書寫用品,比如纖維筆 。4、須隨手關(guān)門。開門會使室內(nèi)壓力降低,這會造成潔凈室氣流的不良運(yùn)動(dòng)。 5、開關(guān)門的動(dòng)作都要慢??焖訇P(guān)門會增加從潔凈程度較低區(qū)域流入潔凈室的空氣量。為控制開關(guān)門的速度,可以在門上安裝閉門器或彈簧。 6、通過氣閘的兩扇門時(shí),只有在第一道門完全關(guān)閉后,再打開第二道門。所謂的聯(lián)鎖裝置就是使兩道門不能同時(shí)打開。 ...
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一、概述臨床基因擴(kuò)增實(shí)驗(yàn)又稱 PCR實(shí)驗(yàn),是專門用來檢驗(yàn)艾滋病、乙型肝炎、禽疫病等病毒感染性疾病的一種檢測手段。它可以通過將病毒體內(nèi)所含的基因進(jìn)行擴(kuò)增的方法,測出一些病毒含量不高的感染者體內(nèi)是否含有特定的病毒。由于該檢測方法可以測出普通檢驗(yàn)難以檢測出的病毒并具有靈敏度高、特異性高、快捷、對樣品要求低等優(yōu)點(diǎn),因此被臨床醫(yī)生廣為認(rèn)可,已廣泛應(yīng)用于醫(yī)院的臨床診斷和各防疫檢測部門的禽疫病診斷。但是,這種實(shí)驗(yàn)需要有能保證絕對安全、配置合理的實(shí)驗(yàn)室和非常規(guī)范的操作為前提。近年來對臨床基因擴(kuò)增檢驗(yàn)實(shí)驗(yàn)室的建設(shè)越來越得到重視,因?yàn)樗鼘z測結(jié)果的可靠性、準(zhǔn)確性和安全性起到至關(guān)重要的作用。本文主要從臨床基因擴(kuò)增檢驗(yàn)實(shí)驗(yàn)室的平面布局,空調(diào)通風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)、氣流控制和污染的防制幾個(gè)方面對實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)中的主要特點(diǎn)進(jìn)行了闡述。臨床基因擴(kuò)增檢驗(yàn)實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)的核心問題是如何避免污染。因此,實(shí)驗(yàn)室的平面布局、空調(diào)通風(fēng) 系統(tǒng)設(shè)計(jì)、氣流控制等都是圍繞這個(gè)核心問題進(jìn)行的。下面就對這幾個(gè)方面分別進(jìn)說明。二、 PCR實(shí)驗(yàn)室平面布局臨床基因擴(kuò)增檢驗(yàn)實(shí)驗(yàn)室原則上分為四個(gè)單獨(dú)的工作區(qū)域:試劑貯存和準(zhǔn)備區(qū)、標(biāo)本制備區(qū)、擴(kuò)增反應(yīng)混合物配制和擴(kuò)增區(qū)、擴(kuò)增產(chǎn)物分析區(qū)。為避免交叉污染,進(jìn)入各個(gè)工作區(qū)域必須嚴(yán)格遵循單一方向進(jìn)行,即只能從試劑貯存和準(zhǔn)備區(qū)→標(biāo)本制備區(qū)→擴(kuò)增反應(yīng)混合物配制和擴(kuò)增區(qū)→擴(kuò)增產(chǎn)物分析區(qū)。各實(shí)驗(yàn)區(qū)之間...
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在藥學(xué)意義上,潔凈室是指符合GMP無菌規(guī)范的房間。由于制造業(yè)技術(shù)升級對生產(chǎn)環(huán)境的嚴(yán)苛要求,潔凈實(shí)驗(yàn)室也被稱為“高端制造業(yè)的守護(hù)神”。 什么是潔凈室? 典型的潔凈室 潔凈室又可稱作無塵室(Cleanroom),通常用作專業(yè)工業(yè)生產(chǎn)或科學(xué)研究的一部分,包括制造藥品,集成電路,CRT,LCD,OLED和microLED顯示器等。潔凈室的設(shè)計(jì)是為了保持極低水平的微粒,如灰塵,空氣中的生物體,或汽化的微粒。確切地說,潔凈室有一個(gè)受控的污染水平,該水平由在指定的顆粒尺寸下每立方米的顆粒數(shù)來規(guī)定。潔凈室也可指任何給定的容納空間,在該空間中設(shè)置了減少微粒污染和控制其他環(huán)境參數(shù),如溫度,濕度和壓力。 在藥學(xué)意義上,潔凈室是指符合GMP無菌規(guī)范(即EU和PIC/S GMP指南附件1以及當(dāng)?shù)匦l(wèi)生當(dāng)局要求的其他標(biāo)準(zhǔn)和指南)中定義的GMP規(guī)范要求的房間,是將普通房間轉(zhuǎn)換為潔凈室所需的工程設(shè)計(jì)、制造、完成和操作控制(控制策略)的組合。很多行業(yè)會使用無塵室,只要是小顆粒會對生產(chǎn)過程產(chǎn)生不利影響的地方都會有潔凈室的身影。它們的尺寸和復(fù)雜度各不相同,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造,制藥,生物技術(shù),醫(yī)療設(shè)備和生命科學(xué)等行業(yè),以及航空航天,光學(xué),軍事和能源部中常見的關(guān)鍵工藝制造。 潔凈室的發(fā)展歷程 現(xiàn)代無塵室是由美國物理學(xué)家威利斯·惠特菲爾德發(fā)明的。惠特菲爾...
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工業(yè)潔凈室與醫(yī)藥生物潔凈室的最核心最主要的區(qū)別:1.工業(yè)潔凈室只對潔凈度進(jìn)行監(jiān)測,不需要監(jiān)測 生命微粒,醫(yī)藥生物潔凈室不緊要對潔凈度進(jìn)行監(jiān)測,還需要監(jiān)測 生命微粒。2.工業(yè)潔凈室的人員更衣流程只需要換鞋-更衣-風(fēng)淋室就可以進(jìn)入潔凈室,醫(yī)藥生物潔凈室的人員更衣流程需要換鞋-一次更衣-洗手-二次更衣-手消毒-氣閘室/風(fēng)淋室才可以進(jìn)入潔凈室,比工業(yè)潔凈室多了一次更衣和洗手消毒。1 、工業(yè)潔凈室? 凈化工程是一個(gè)應(yīng)用行業(yè)非常廣泛的基礎(chǔ)性配套產(chǎn)業(yè)。? 目前級別最高的當(dāng)屬航天航空的航空倉,基本是屬于1級,屬于特殊領(lǐng)域,面積相對較小。? 根據(jù)行業(yè)的精密與無塵要求,等級差別也較大。? 目前在電子信息、半導(dǎo)體、光電子、精密制造、醫(yī)藥衛(wèi)生、生物工程、航天航空、汽車噴涂等眾多行業(yè)均有應(yīng)用。? 工業(yè) 類潔凈室操作人員進(jìn)入潔凈區(qū)的更衣流程是: 換鞋-- 更衣-- 風(fēng)淋 。工業(yè)潔凈室的具體行業(yè):? 二極管,三極管;? LED發(fā)光材料及芯片;? 半導(dǎo)體(IC芯片,處理器等);? 線路板;? 手機(jī)玻璃;? OLED,LCD屏幕;? 高精密機(jī)械,儀器的研發(fā)及生產(chǎn)(激光,光學(xué),高精度探測等設(shè)備儀器);? 電池工業(yè)(鋰電池,太陽能電池等);? 印刷噴涂工業(yè)(高精度的無塵印刷噴涂,食品醫(yī)藥用的潔凈包裝材料印刷等等);2 、醫(yī)藥生物潔...
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