一、純水供應設施安裝1純水供應設施安裝前，應按工程設計文件和產品說明書的要求檢查、核對設備及填充的材料、閥門和管件的完整性、密封性，并應做好檢查、核對記錄。2純水管道及其閥門、附件的材質，應按工程設計文件和產品生產要求進行選擇。3單體設備的搬運、就位應符合下列規(guī)定：（1）搬人潔凈室(區(qū))內的單體設備，應進行清潔后再搬入；（2）裝有填料或元件的單體設備，應按要求的方向進行搬運、就位，不得倒置；（3）單體設備就位時，應按工程設計文件和產品說明書要求進行定位。檢查數(shù)量：全數(shù)檢查。檢...
一、高純氣體 、特種氣體管道及其閥門附件等的材質應符合工程設計文件的要求。采用低碳不銹鋼管時，其安裝施工應符合規(guī)范的規(guī)定。二、管路系統(tǒng)的試運轉應包括管路吹掃、氣密性、泄漏性試驗和純度測試。三、高純氣體、特種氣體供應設施安裝前，應按工程設計文件和產品說明書的要求，檢查設備及填充的純化材料、閥門和管件的完整性、密封性，并應做檢查記錄。檢查數(shù)量：按氣體品種、分系統(tǒng)全數(shù)檢查。檢驗方法：觀察檢查、尺量。四、純化設備、特氣柜的搬運、就位應符合下列規(guī)定：1搬入潔凈室(區(qū))前應進行清潔，符合...
一、微振控制設施施工（一）一般規(guī)定1微振控制設施應與潔凈廠房主體結構、動力公用工程、凈化空調系統(tǒng)、排風系統(tǒng)等相關設施同步施工安裝。2微振控制設施的施工應根據(jù)具體工程項目特點，并按微振控制設施的設計、測試和建造程序進行。（二）微振控制設施施工主控項目（1）潔凈廠房的微振控制設施的施工應按下列階段進行測試分析：1現(xiàn)場環(huán)境振動測試及分析；2建筑結構振動特性測試及分析；3精密設備儀器安裝場所環(huán)境振動測試及分析；4竣工驗收測試及分析。檢查數(shù)量：全數(shù)檢查。檢驗方法：核查測試分析報告。（2...
一、一般規(guī)定（1）屏蔽設施的施工安裝應制定屏蔽體施工方案，嚴格審查圖紙。（2）屏蔽材料選擇、屏蔽體(墻體則包括觀察窗)厚度、屏蔽體結構應嚴格符合設計要求。二、屏蔽體（1）當電磁屏蔽采用混凝土時，其密度不得低于設計要求，并不小于2.35t/m3，骨料宜用重晶石(硫酸鋇)，厚度不得小于設計要求。（2）應制定選配混凝土并保證其達到密度大于等于2.35t/m3的措施、混凝土養(yǎng)護過程中產生的溫度與外界溫度之差不超過20℃的措施和澆搗、養(yǎng)護施工縫處理措施，并應制定墻體和屋頂模板支護方案。...
一、原理（1）保持室內為正壓或負壓均能滿足檢驗要求，但條件允許時，負壓潔凈室宜用正壓檢驗，正壓潔凈室宜用負壓檢驗。（2）可按以下方法進行檢測：1.壓力衰減法使室內達到某一壓力(正壓或負壓)，關閉加壓或抽負壓系統(tǒng)，觀察壓力隨時間哀減的情況，記錄下壓力衰減到起始壓力的半時所用的時間，即為測量室內正壓或負壓的半衰期。2.恒壓法使室內達到某一正壓，同時向室內補氣，使室壓達到要求的穩(wěn)定值而不下降時的補氣量即為漏泄量。使室內達到某一負壓，使室壓維持要求的穩(wěn)定值而不下降時的抽氣量即為漏泄量...
一、溫濕度的檢測（1）無恒溫恒濕要求的溫濕度檢測應符合下列要求：1室內空氣溫度和相對濕度測定之前，空調凈化系統(tǒng)應已連續(xù)運行至少8h。2溫度的檢測可采用玻璃溫度計、數(shù)字式溫濕度計；濕度的檢測可采用通風式干濕球溫度計、數(shù)字式溫濕度計、電容式濕度檢測儀或露點傳感器等。根據(jù)溫濕度的波動范圍，應選擇足夠精度的測試儀表。溫度檢測儀表的最小刻度不宜高于0.4℃，濕度檢測儀表的最小刻度不宜高于2%。測點為房間中間一點，應在溫濕度讀數(shù)穩(wěn)定后記錄。測完室內溫濕度后，還應同時測出室外溫濕度。（2）...
一、一般規(guī)定1承擔潔凈室施工的單位應按規(guī)范的相關規(guī)定，建立質量管理體系。2潔凈室的各級施工人員應有必要的潔凈室施工經(jīng)歷，明確的分工和職責。3特殊工種作業(yè)人員應持證上崗。4施工單位應編制施工組織設計，制定具體工程的施工程序，并按程序對施工全過程實行質量控制。5施工過程中，不得違反設計文件擅自改動系統(tǒng)、參數(shù)、設備選型、配套設施和主要使用功能。當修改設計時，應經(jīng)原設計單位確認、簽字，并得到建設單位的同意，在通知監(jiān)理方之后執(zhí)行。6施工安裝的全過程、竣工設施的詳細情況、所有操作和維護程...
一、防靜電地面（1）防靜電地面面層應選擇耐磨、耐腐蝕、耐老化、不產塵、防火并具有穩(wěn)定持久的防靜電性能的材料制作。（2）在有220V及其以上電壓的場所，其防靜電地面宜使用靜電耗散型材料，其表層的表面電阻應為1×105Ω~1×1010Ω，或體積電阻1×104Ω~1×109Ω（3）具有不燃性能要求的地面宜選用防靜電水磨石和防靜電瓷質地板。二、防靜電水磨石地面（1）防靜電水磨石所用砂、石、水泥嵌條等材料，應符合規(guī)范的有關規(guī)定。（2）在導電地網(wǎng)上...
一、一般規(guī)定1消防系統(tǒng)施工使用的設備、組件和原材料應符合設計要求，并采用符合法定機構檢測確認合格的產品。2消防系統(tǒng)工程施工中采用的工程技術文件、承包合同文件對施工及質量驗收的要求不得低于本規(guī)范的規(guī)定。3自動噴水滅火系統(tǒng)、氣體滅火系統(tǒng)和火災自動報警系統(tǒng)的工程施工及驗收應符合相應的國家現(xiàn)行有關標準的規(guī)定。二、防排煙系統(tǒng)（1）排煙管道的安裝試驗應符合規(guī)范的有關規(guī)定。（2）排煙管道的隔熱層應采用厚度不小于40mm的不燃絕熱材料。（3）磚、混凝土風道的制作應保證管道的氣密性，灰縫應飽滿...
一、一般規(guī)定潔凈室配電系統(tǒng)施工應按現(xiàn)行國家標準《建筑電氣工程施工質量驗收規(guī)范》GB 50303的要求，對所需各種材料、管線、盤柜、開關、燈具等檢驗合格后進行。二、線路（1）潔凈區(qū)用電線路與非潔凈區(qū)線路應分開敷設；主要工作（生產）區(qū)與輔助工作（生產）區(qū)線路應分開敷設；污染區(qū)線路與清潔區(qū)線路應分開敷設；不同工藝要求的線路應分開敷設。（2）穿過圍護結構的電線管應加設套管，并用不收縮、不燃燒材料將套管密封。進人潔凈室的穿線管口應采用無腐蝕、不起塵和不燃材料封閉。有易燃易爆氣體的環(huán)境，...